Empresa Reconhecida por Notável Contribuição ao Desenvolvimento da Infra-estrutura EUV Litografia

Published on July 20, 2009 at 6:15 AM

Energetiq Technology, Inc., uma desenvolvedora e fabricante de produtos especializados de curto comprimento de onda de luz para aplicações de tecnologia avançada, foi dado um prêmio Outstanding Contribution no Workshop Internacional de 2009 para litografia EUV, para um desempenho excelente da fonte de luz EUV Energetiq ea companhia contribuição para o desenvolvimento EUVL. Apenas dois prêmios foram entregues no Workshop realizado na semana passada em Honolulu, Havaí - o único a Energetiq eo outro a um professor de renome no desenvolvimento EUV para sua realização carreira da vida.

Professor Gregory Denbeaux da Universidade de Albany apresentou o prêmio ao Deborah Gustafson, VP de Marketing e Vendas da Energetiq. Prof Denbeaux declarou: "Energetiq tornou possível para os pesquisadores têm fótons EUV confiável para fazer litografia EUV se tornar uma realidade. Grande parte da pesquisa de hoje é realizado com a fonte de luz EUV Energetiq".

Gustafson acrescentou, "Energetiq tem o prazer de receber este prêmio e estamos felizes que podemos contribuir para o desenvolvimento de infra-estrutura que está sendo feito hoje. Além disso, gostaríamos de agradecer a todos os nossos clientes para o seu trabalho bem sucedidas neste campo. Energetiq planos para continuar sua contribuição para a implementação bem sucedida de litografia EUV, trabalhando com os fornecedores de metrologia máscara para garantir que não é uma fonte confiável para EUV ferramentas de metrologia ".

EQ-10 Energetiq da Fonte de Luz Series EUV características da empresa proprietária Electrodeless Z-pitada de tecnologia (TM) e produz luz EUV estável, com baixo custo de propriedade. O design fonte electrodeless é comprovada para executar continuamente e ter um desempenho altamente repetível. A série EQ-10 é instalado nos principais centros de tecnologia EUV nos EUA, Europa e Ásia, e é usado em testes avançados e fotorresiste, qualificação EUV testes óptica, microscopia EUV, e mais recentemente com a introdução de uma elevada taxa de repetição (10 kHz), versão em aplicações de metrologia e de investigação em que a simulação de HVM (fabricação de alto volume) é necessária.

Energetiq Technology, Inc. é uma desenvolvedora e fabricante de produtos avançados de curto comprimento de onda de luz que permitem que os nano-escala estruturas e produtos. A equipe Energetiq combina a sua profunda compreensão da física de plasma de alta potência necessários para a geração de curto comprimento de onda de luz com sua longa experiência na construção robusta, produtos industriais e científicos. O resultado é que os usuários podem esperar os mais altos níveis de desempenho combinado com a mais alta confiabilidade.

Last Update: 24. October 2011 07:28

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