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Rápido, Fácil de Usar S / TEM aumenta significativamente la productividad en aplicaciones de fabricación de semiconductores

Published on July 20, 2009 at 8:52 AM

FEI Company (Nasdaq: FEIC) , un proveedor líder de imágenes a escala atómica y análisis de sistemas, ha anunciado hoy el lanzamiento de la Tecnai Osiris (tm) de escaneo / microscopio electrónico de transmisión (S / TEM), y ofrece una velocidad revolucionaria de análisis y desempeño. Incluye las nuevas tecnologías de la FEI ChemiSTEM, lo que reduce el tiempo de gran campo de visión de un mapeo elemental de horas a minutos. El Osiris Tecnai está diseñado para combinar el rendimiento de avance analítico con una excepcional facilidad de uso para satisfacer las necesidades de los laboratorios de investigación de alto volumen industrial y de usuarios múltiples.

La tecnología pendiente de patente ChemiSTEM permite Osiris Tecnai para lograr un factor de 50 o más de mejora en la velocidad de dispersión de energía de rayos X (EDX) de mapeo elemental, mediante la combinación de los avances técnicos en la generación de la viga con los cambios drásticos en la detección de la señal de EDX. El Osiris Tecnai está construido sobre una plataforma diseñada para maximizar la productividad y rentabilidad de la inversión en grandes volúmenes de análisis.

Tony Edwards, vicepresidente de la FEI de las divisiones de mercado, añade: "El Osiris Tecnai responde a las necesidades tanto de nuestra investigación y los clientes industriales que ponen cada vez más importancia en el análisis de la composición elemental y la cartografía de todas las muestras, pero hasta ahora, no pudo encontrar un S / TEM con la velocidad requerida de análisis y facilidad de uso para apoyar a este requisito. Por ejemplo, la continua disminución en el tamaño del dispositivo y la proliferación de nuevos materiales en la fabricación de semiconductores, y la aparición de más muestras de composición desconocida en la investigación multi-usuario instalaciones de las unidades de la necesidad de un S / TEM proporciona la facilidad de uso de análisis de EDX con una velocidad comparable a la de mapeo elemental de STEM de imágenes ".

Edwards añade: "El Osiris Tecnai fue diseñado para llenar este vacío existente en el mercado, proporcionando un mapeo elemental con grandes campos de visión en cuestión de minutos en lugar de horas, y sin la necesidad de un operador altamente capacitados en análisis complejos. Esta facilidad de uso también se extiende por la nueva interfaz de control remoto SmartCam, que permite a los expertos para proporcionar orientación a distancia en las instalaciones de multi-usuario o industrial a menos operadores con experiencia. "

La línea Tecnai tiene un largo historial de rendimiento y fiabilidad como una herramienta de caballo de batalla en las aplicaciones industriales. El Osiris Tecnai, de 200 kilovoltios (kV) S / TEM, continúa la tradición Tecnai con la incorporación de numerosas innovaciones técnicas, entre ellas: ChemiSTEM, que comprende la propiedad de X-FEG fuente de electrones de alta luminosidad y Super-X, el nuevo FEI de detección de EDX sistema basado en silicio deriva del detector (SDD) la tecnología; MultiLoader (tm) manejo de la muestra que se reduce el tiempo de equilibrio térmico después de los intercambios de la muestra por diez veces con mejoras proporcionales en el tiempo de los datos, y el FS-1 nuevo espectrómetro de energía de los electrones que mejora la pérdida de pérdida de energía de los electrones espectrometría (EELS) la velocidad y sensibilidad, así como otras mejoras, como la cámara de control remoto SmartCam, de larga duración de los consumibles de nitrógeno líquido, y mucho más.

"Cuando la velocidad revolucionaria de análisis, rendimiento y facilidad de uso, de manera confiable, de uso S / TEM son críticos, el Osiris Tecnai es la solución ideal", afirma Edwards.

El Tecnai Osiris S / TEM está disponible para pedido de inmediato. Para más información, visite: www.fei.com .

Last Update: 22. October 2011 05:18

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