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단단, 사용하기 편한 S/TEM는 극적으로 반도체 제조 응용에 있는 생산력을 증가합니다

Published on July 20, 2009 at 8:52 AM

FEI 회사 (NASDAQ: FEIC), 혁명적인 분석적인 속도 및 성과를 전달하는 원자 가늠자 화상 진찰과 분석 체계의 주요한 공급자, 오늘 Tecnai Osiris (tm) 스캐닝/전송 전자 현미경 (S/TEM)의 방출을 알렸습니다. 그것은 FEI의 시간에서 분으로 큰 시계 원소에게 지도로 나타내기를 위한 시간을 감소시키는 새로운 ChemiSTEM 기술을 포함합니다. Tecnai Osiris는 특별하은 사용 용이에 이 돌파구 분석적인 높은 볼륨 산업기도 하고 다중 사용자 연구소를 위한 요구에 응하기 위하여 처리량을 결합하도록 디자인됩니다.

ChemiSTEM 특허 팬딩되어 있는 기술은 Tecnai Osiris를 에너지 EDX 신호 감지에 있는 혼란을 일으키는 변경과 光速 발생에 있는 기술 발전을 결합해서 흩어진 엑스레이 (EDX) 원소에게 지도로 나타내기의 속도에 있는 50 가능하게 합니다 또는 추가 증진의 요인을, 달성하는. Tecnai Osiris는 높은 볼륨 분석에 있는 투자 수익 생산력 그리고 확대하기 위하여 디자인된 플래트홈에 건축됩니다.

선임 부사장 Tony Edwards는, FEI의 시장 부의, 덧붙입니다, "Tecnai Osiris는 원소 구성 분석에 증가 중요성 및 모든 견본의 지도로 나타내를 두는 우리의 연구 및 산업 고객 둘 다의 필요를 다룹니다, 그러나 지금까지는, 필수 분석적인 속도 및 사용 용이에 S/TEM를 이 필수품을 지원하기 위하여 찾아낼 수 없었습니다. 예를 들면, 반도체 제조에 있는 새로운 물자의 장치 규모 그리고 확산에 있는 계속되 감소, 그리고 다중 사용자 연구 기관에 있는 불명한 구성을 가진 추가 견본의 외관은 몹니다 줄기 화상 진찰에 대등한 원소 지도로 나타내는 속도를 EDX analytics의 사용 용이를 제공하는 S/TEM를 위한 필요를."

Edwards는 덧붙입니다, "Tecnai Osiris는 분에 있는 큰 필드 의 전망을 원소에게 지도로 나타내기 제공해서 시간 대신에, 그리고 복잡한 analytics에서 고도 훈련 통신수를 위한 필요 없이 시장에 있는 이 현재 간격을 메우기 위하여 디자인되었습니다. 이 사용 용이는 전문가를." 보다 적게 경험있는 통신수에게 다중 사용자 산업 기능에 있는 먼 지도를 제공하는 가능하게 하는 SmartCam 새로운 원격 제어 공용영역에 의해 더 확장됩니다,

Tecnai 선에는 산업 응용에 있는 사역마 공구로 성과의 오래된 병력 및 신뢰도가 있습니다. Tecnai Osiris, 킬로볼트 200 (kV) S/TEM는, 다음을 포함하는 수많은 기술적인 혁신의 추가를 가진 Tecnai 전통을 잇습니다: 소유 X-FEG 높은 광도 전자 근원 최고 X 구성하고 있는 ChemiSTEM 의 실리콘 편류 검출기 기술에, FEI의 새로운 EDX 검출 시스템 (SDD) 기지를 두었습니다; 견본이 시간 에 데이터에 있는 같은 개선과 10 시간까지 교환한 후에 열 평형 시간을 감소시키는 MultiLoader (tm) 견본 취급; 그리고 전자 에너지 손실 분광분석 속도와 감도를 향상하는 새로운 FS-1 전자 (EELS) 에너지 손실 분광계; SmartCam 원격 제어 사진기 길 생활 액체 질소 공급, 및 더 많은 것과 같은 그밖 증진 뿐만 아니라.

"믿을 수 있는, 다목적 S/TEM에 있는 혁명적인 분석적인 속도, 처리량 및 사용 용이가 중요하 때, Tecnai Osiris는 이상적인 해결책," 국가 Edwards입니다.

Tecnai Osiris S/TEM는 즉각 명령을 위해 유효합니다. 추가 정보를 위해, 방문하십시오: www.fei.com.

Last Update: 14. January 2012 02:57

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