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灵活和直观的用户界面使最复杂的,高准确度的纳米构型,在16位精度

Published on July 27, 2009 at 10:13 AM

在显微镜+ 卡尔蔡司显微分析显示呈现一个高度灵活的NanoPatterning引擎,其横梁®(FIB / SEM)工作站。能够灵活和精确控制的光束可能结合过程中聚焦离子气体,是在科学和工业研究和发展的关键。

左:透视图案梁。右:通讯扫描电镜显示图像。

生产力的应用性,可靠性和易用性是确定的光束控制界面质量的主要因素。新NanoPatterning引擎软件提供一个高度灵活而又直观的用户界面,使16位精度的最复杂和高精度的结构的解决了这些要求。

纳米图案引擎的主要功能包括

  • “绘图程序”创建复杂的形状,如椭圆形,戒指,文字等风格的界面,
  • 基于矢量的图案形状,
  • 3D图案基于灰度位图
  • 实时可视化的图案束以及现场的图案过程的SEM成像的角度。

对于更高的要求,一个软件扩展,可提供额外的功能,如图案的空隙和轮廓,阈值铣削和多。

应用实例包括原子探针尖端的准备,microstrainer纳米光学元件,如菲涅耳透镜和无数客户的特殊结构和应用程序。

Last Update: 7. October 2011 11:35

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