Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoanalysis | Nanobusiness

Nanometrics wordt meerdere keren System titel voor haar Caliper Mosaic Overlay Metrologie System

Published on August 3, 2009 at 9:25 AM

Nanometrics Incorporated (Nasdaq: NANO) , een toonaangevende leverancier van geavanceerde process control metrologische systemen vooral gebruikt in de productie en verpakking van halfgeleiders, fotovoltaïsche zonnecellen en high-brightness LED's, heeft vandaag aangekondigd een meervoudig systeem om voor haar Caliper Mosaic overlay metrologie systeem. De systemen zullen worden gebruikt in de productie uitgevoerd in combinatie met de Blossom overlay doelgroep technologie en zullen naar verwachting worden geleverd en gekwalificeerd in het derde kwartaal van 2009.

De Remklauw Mosaic systemen werden besteld als een vervolg op een eerste systeem gekocht in 2008 van een toonaangevende fabrikant van DRAM voor hoog volume lithografie-proces te controleren. De klant zal ook de aankoop van licenties voor de Blossom overlay doel-technologie.

"De Blossom overlay merk, wanneer gebruikt in combinatie met onze Remklauw Mosaic-systemen kunnen klanten hun bekende metrologie-technologieën uit te breiden en tegelijkertijd om gebruik te maken verbeteringen in de nauwkeurigheid en doorvoer", aldus Nigel Smith, directeur van Overlay Product Technology bij Nanometrics. "De Blossom technologie is het verkrijgen van grip als een alternatief voor de streef-programma's zoals het onze klanten in staat stelt om zich te meten tot 28 lagen in een keer. Deze gelijktijdige multi-layer meetcapaciteit is vooral gunstig in dubbele patronen processen, die de best mogelijke precisie voor geavanceerde lithografie-proces controle van de kritische lagen, terwijl de substantiële vermindering van de totale doelgroep van onroerend goed eisen. "

Last Update: 3. October 2011 19:29

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit