Новый Метод Тарировки Улучшая Надежность и Стабилность Microhotplate

Published on August 11, 2009 at 7:52 PM

Исследователя на Национальном институте стандартов и технологий (NIST) начинали новый метод который улучшит надежность и стабилность одной из технологий NIST самых разносторонних, microhotplate тарировки. Прибор NIST романа развивается как учредительство для миниатюры но сильно точных датчиков газа которые могут обнаружить химические и биологические агенты, промышленные утечки и даже знаки внеземной жизни от на борту планетарного зонда.

Microhotplate NIST использует свою термальную эффективность совместно с термопарой для того чтобы сформировать температуру собственн-испытания воспринимая систему. 4 microhotplates (левое изображение) увидены при прокладка фильма родия (маркированного стрелкой) пересекая microhotplate нижнего права. Эта прокладка кашется с платиной в структуре microhotplate (см. в изображении крупного плана на праве) для того чтобы сформировать стабилизированную термопару для измеряя температуры. Кредит: M. Afridi, NIST

Малюсенькие microhotplates-никакая широкая чем человек волос-запрограммированы для того чтобы задействовать через ряд температур. Их можно покрыть при фильмы окиси металла портняжничанные для того чтобы обнаружить специфический вид газа. Воздушнодесантный attach химикатов к поверхности детектора в зависимости от типа фильма и температуры поверхности, изменяя подачу электричества через прибор, который служит как «подпись» для определять и тип и концентрацию газа в окружающем воздухе.

Точные измерения температуры microhotplate критические для различения и квантификация вида газа, пока надежно, долгосрочная деятельность требует что датчики температуры microhotplate могл или сильно стабилизированы или воспринять когда они перемещались, функциональность известная как «встроенная собственная личность - испытание» (BIST). Как продемонстрировано для the first time в бумаге в предстоящем вопросе Писем Прибора Электрона IEEE, * новый метод калибровки удовлетворяет оба требования.

Часть подогревателя polysilicon составляя microhotplate первоначально служила как датчик температуры прибора. Однако, этот датчик медленно перемещался бы над временем от своей начальной тарировки. Не Познее 3 месяца, чтения температуры были мимо как много как 25 градус цельсий в условиях высоких температур.

Инженеры NIST отжали этот недостаток путем использование данных от 2 дополнительных датчиков- температуры сильно стабилизированных, тонкопленочных платины/интегрированной термопары родия в структуре microhotplate для одного датчика и термальной эффективности самой структуры для другого. Сравнивать температуры сообщенные этими 2 датчиками обеспечивает microhotplate с своей внутренней системой мониторинга. Покуда абсолютная величина разницы между сообщенными температурами остает под определенным пороговым значением, средний 2 чтений учтено надежным. Если разница превышает порог, отчеты о системы ошибка.

Первоначально датчик polysilicon все еще предусматривает измерение температуры microhotplate начальное, которое использовано для того чтобы откалибрировать другие 2 датчика. С полной системой «системы проверки и баланса» в месте, измерения температуры точны до не познее 1,5 градус цельсии.

Успешно демонстрирующ новую систему тарировки температуры для их microhotplate, исследователя NIST работают на дополнительных выдвижениях для технологии. Затем в линии развитие встроенной системы для воспринимать загрязнение фильмов окиси металла критических к пользе microhotplate в обнаружении газа.

* M. Afridi, C. Монтгомери, E. Бондарь-Balis, S. Semancik, K.G. Kreider и J. Geist. Сетноая-аналогов функциональность BIST для датчиков температуры microhotplate. Приборы Электрона IEEE, Том 30, Номер 9 (Сентябрь 2009).

Last Update: 13. January 2012 22:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit