Zusammenarbeit Zeigt Neue EUV-Materialien an den Photoresists und Entwicklungszentrum in Albanien NanoTech CNSES

Published on August 31, 2009 at 8:13 AM

SEMATECH, ein globales Konsortium von Chip-Herstellern und Shin--EtsuChemikalie Co., Ltd., einer der größten Lieferanten der Welt der Halbleitermaterialien, heute angekündigt, dass Shin-Etsu sich Photoresists SEMATECHS und Entwicklungszentrum (RMDC) am College von Nanoscale-Wissenschaft und von Komplex des Albaniens NanoTech der Technik (CNSE) angeschlossen hat.

Da ein Widerstehungsbauteil des Lithographieprogramms SEMATECHS, Shin-Etsu mit Forschern an SEMATECH team, um hoch entwickeltes EUV-Fotoresist für Gebrauch am 22 nm Knotenpunkt zu entwickeln und zu demonstrieren und jenseits.

„Zusammentuend mit, widersetzen Sie sich Lieferanten wie Shin-Etsu beschleunigt unseren Fortschritt, wenn Sie Schlüsselherausforderungen - wie Auflösung, Linienstärkerauheit und Mustereinsturz - im kritischen Bereich der hoch entwickelten Darstellung bewältigen,“ sagte Bryan-Reis, Direktor der Lithographie an SEMATECH. „Wir freuen uns, Shin-Etsu zu RMDC SEMATECHS zu begrüßen, in dem es mit Dutzenden Forschern sich zusammentut, die Universitäten darstellen und die Firmen aus der ganzen Welt, die vereinigt werden, beim Voranbringen widerstehen Verfahrensentwicklung.“

„Die innovative Forschung und Entwicklung, die für die Kommerzialisierung von EUVL-Technologie notwendig ist, wird weiter durch den Zusatz von Shin-Etsu erhöht,“ sagte Richard Brilla, CNSE Vizepräsident für Strategie, Bündnisse und Konsortien. „Diese neue Partnerschaft baut auf den Weltklassen- Fähigkeiten beim UAlbany NanoCollege zur Unterstützung des Bedarfs der neuen Technologie unserer globalen Unternehmenspartner und der nanoelectronics Industrie.“ auf

Die Zusammenarbeit basiert auf umfangreichem Netz SEMATECHS von den Kleinteilen und Forschungssachkenntnis, Halbleitererfahrung, und in hohem Grade respektierte Marktführerschaft und auf Shin-Etsu's nachgewiesen, Industrie-führende Halbleiterspezialitätenmaterialien. RMDC SEMATECHS liefert Zugriff zu zwei Mikroberührung Hilfsmitteln, die (METs) an der Universität an Albaniens College von Nanoscale-Wissenschaft und Technik und Universität Von Kalifornien, Berkeley gelegen sind, sowie einige Metrologiehilfsmittel.

Für einige Jahre hat SEMATECH eine Weltklassen- Berührungsfähigkeit für Materialentwicklung beibehalten. Das RMDC bringt die Führung widerstehen zusammen und Materiallieferanten und ein großer Effektenbestand von widerstehen den Forschungsprojekten, die aus der ganzen Welt Academic- und Industrieforscher beschäftigen. Zusammen liefert das RMDC die Kleinteile und die Forschungssachkenntnis, zum von EUV zu entwickeln widerstehen den Prozessen, welche die zwingende Auflösung, die Linienstärkerauheit und die Empfindlichkeitsbedingungen benötigt werden für anhaltenden Fortschritt in der Herstellung treffen.

Last Update: 13. January 2012 20:13

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