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La Collaboration Expliquera les Matériaux Neufs d'EUV à Résistent aux Matériaux et au Centre de Développement à la Nanotechnologie d'Albany de CNSE

Published on August 31, 2009 at 8:13 AM

SEMATECH, un consortium global de fabricants de circuits intégrés, et le Produit chimique Cie., Ltd, un de Shin-Etsu des plus grands fournisseurs du monde des matériaux de semi-conducteur, aujourd'hui annoncés que Shin-Etsu s'est joint SEMATECH Résistent aux Matériaux et au Centre de Développement (RMDC) à l'Université du Composé de Nanotechnologie d'Albany du Scientifique et Technique de Nanoscale (CNSE).

Comme un membre de Résistance du programme de la lithographie de SEMATECH, Shin-Etsu veulent bien l'équipe avec des chercheurs à SEMATECH pour développer et expliquer le vernis photosensible avancé d'EUV pour l'usage au noeud de 22 nanomètre et au-delà.

« Partnering avec résistez aux fournisseurs tels que Shin-Etsu accélérera notre progrès en abordant les défis principaux - tels que la définition, la rugosité de largeur des raies, et l'effondrement de configuration - dans la zone critique de la représentation avancée, » a dit le Riz de Bryan, directeur de la Lithographie à SEMATECH. « Nous sommes heureux de faire bon accueil à Shin-Etsu au RMDC de SEMATECH, où il partner avec des douzaines de chercheurs représentant des universités et les compagnies de partout dans le monde unies dans l'avancement résistent au développement de processus. »

« La recherche et développement tranchante qui est nécessaire pour la commercialisation de la technologie d'EUVL sera encore améliorée par l'ajout de Shin-Etsu, » a dit Richard Brilla, Vice Président de CNSE pour la Stratégie, les Alliances et les Consortiums. « Ce partenariat neuf établira sur les capacités parmi les meilleurs du monde chez l'UAlbany NanoCollege à l'appui des besoins de la technologie avancés de nos associés d'entreprise globaux et de l'industrie de nanoelectronics. »

La collaboration sera basée sur le vaste réseau de SEMATECH du matériel et les compétences de recherches, l'expérience de semi-conducteur, et le leadership sur le marché fortement respecté et sur Shin-Etsu's prouvé, matériaux de spécialité de semi-conducteur de leader. Le RMDC de SEMATECH fournira l'accès à deux outils de micro-exposition (METs) situés à l'Université à l'Université d'Albany du Scientifique et Technique de Nanoscale et à l'Université de Californie chez Berkeley, ainsi que plusieurs outils de métrologie.

Pendant plusieurs années SEMATECH a mis à jour une capacité parmi les meilleurs du monde d'exposition pour le développement de matériaux. Le RMDC rassemble aboutir résiste et les fournisseurs de matériaux et un grand portefeuille de résistent à des projets de recherche employant des chercheurs d'universitaire et d'industrie de partout dans le monde. Ensemble, le RMDC fournit le matériel et les compétences de recherches pour développer EUV résistent à des procédés répondant à la définition, à la rugosité de largeur des raies, et aux caractéristiques rigoureuses de sensibilité requises pour le progrès prolongé à la fabrication.

Last Update: 13. January 2012 19:28

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