La Collaborazione Dimostrerà i Nuovi Materiali di EUV a Resiste ai Materiali ed al Centro di Sviluppo a Albany NanoTech di CNSE

Published on August 31, 2009 at 8:13 AM

SEMATECH, un consorzio globale dei chipmaker ed il Prodotto Chimico Co., Srl, uno di Shin-Etsu di più grandi fornitori del mondo dei materiali a semiconduttore, che Shin-Etsu si è unito SEMATECH oggi annunciati Resistono ai Materiali ed al Centro di Sviluppo (RMDC) all'Istituto Universitario di Scienza di Nanoscale e del Complesso di Albany NanoTech dell'Assistenza Tecnica (CNSE).

Poichè un membro di Resistenza del programma della litografia di SEMATECH, Shin-Etsu team con i ricercatori a SEMATECH per sviluppare e dimostrare il photoresist avanzato di EUV per uso al vertice di 22 nanometro e di là.

“Partnering con resista ai fornitori come Shin-Etsu accelererà il nostro progresso nell'affrontare le sfide chiave - quali risoluzione, rugosità di riga-larghezza ed il crollo del reticolo - nella zona critica della rappresentazione avanzata,„ ha detto il Riso di Bryan, Direttore della Litografia a SEMATECH. “Siamo soddisfatti di accogliere favorevolmente Shin-Etsu al RMDC di SEMATECH, dove partner con dozzine di ricercatori che rappresentano le università e le società intorno al mondo unito nell'avanzamento resistono allo sviluppo trattato.„

“Ricerca e sviluppo di avanguardia che sono necessari per la commercializzazione della tecnologia di EUVL più ulteriormente saranno migliorati tramite l'aggiunta di Shin-Etsu,„ ha detto Richard Brilla, Vicepresidente di CNSE per Strategia, le Alleanze ed i Consorzi. “Questa nuova associazione costruirà sulle capacità di livello internazionale al UAlbany NanoCollege a sostegno dei bisogni di tecnologia avanzata dei nostri partner corporativi globali e dell'industria di nanoelectronics.„

La collaborazione sarà basata sull'estesa rete di SEMATECH di hardware e competenza della ricerca, esperienza a semiconduttore e la direzione altamente rispettata del mercato e su Shin-Etsu's provati, materiali leader del settore di specialità a semiconduttore. IL RMDC di SEMATECH fornirà l'accesso a due strumenti dell'micro-esposizione (METs) situati all'Università all'Istituto Universitario di Albany di Scienza e di Assistenza Tecnica di Nanoscale ed all'Università di California a Berkeley come pure parecchi strumenti della metrologia.

Per parecchi anni SEMATECH ha mantenuto una capacità di livello internazionale dell'esposizione per lo sviluppo dei materiali. Il RMDC riunisce il piombo resiste a ed i fornitori dei materiali e un grande portafoglio di resistono all'uso di progetti di ricerca accademico ed ai ricercatori dell'industria intorno al mondo. Insieme, il RMDC fornisce il hardware e la competenza della ricerca per sviluppare EUV resiste ai trattamenti che rispondono alla risoluzione, alla rugosità di riga-larghezza ed alle specifiche rigorose della sensibilità state necessarie per progresso continuato nella fabbricazione.

Last Update: 13. January 2012 19:32

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