SEMATECH联盟将执行在CNSE的奥尔巴尼纳米技术创新的3D应用与SET的高精度FC300系统

Published on September 1, 2009 at 7:28 AM

设置,智能装备技术 ,Replisaurus技术的全资子公司,已经收到了其高精确度和高力设备焊机FC300从SEMATECH联盟,全球的半导体制造商财团的顺序。该命令被黄牌警告,今年早些时候和如期交付的机器是2009年年底在SEMATECH的3D ř + D中心在纽约州奥尔巴尼大学纳米科学与工程(CNSE)奥尔巴尼纳米技术复杂

“我们的全面计划,旨在使制造三维互连,将受益于这种多功能的平台,解决了我们的成员公司的粘接要求广谱,说:”Sitaram Arkalgud,SEMATECH的3D节目总监。

“SEMATECH联盟 - CNSE合作伙伴关系,继续推动下一代纳米器件制造的创新解决方案,除了设置的粘接系统将支持这种努力,补充说:”理查德Brilla,CNSE副总裁战略联盟和财团。 “与此同时,在CNSE的世界一流的奥尔巴尼纳米技术复杂的增强功能将进一步帮助的前沿研究和发展,是我们的全球企业合作伙伴的关键。”

FC300是一个精度高(0.5微米),高力(4000 N)的设备焊机新一代晶圆直径可达300毫米。它可以配备一个可选的内置室中的气体或真空环境的集体回流。 FC300还具有奈米功能。

SEMATECH联盟将在其3D集成方案的框架,探索三维技术在各个领域的应用和设计。使用FC300技术的研究主要集中在芯片到晶圆键合应用。压铸模粘接,如其他进程将在未来进行探讨。

订购该系统包括一个超声波焊接头和高力粘接头,配有一个禁闭室,减少颠簸和焊盘氧化。此配置是特别有趣的铜 - 铜键合,适用于三维集成电路的集成。

FC300具有无与伦比的多功能性,并且能够执行一个快速的过程头重新配置同一平台上的各种应用:

  • 高力粘接头,适应热压粘接工艺。
  • 低作用力接合头,回流的各种组件,包括RF +光电设备组装粘接。
  • 紫外光固化头粘接使用UV - NIL的过程,等等。

“SET是行业内确认其领导地位,通过提供尖端的粘接解决方案喜欢SEMATECH联盟的主要球员感到骄傲。吉尔伯特Lecarpentier,SET业务发展经理说,“通过与我们的客户密切合作,通过一套提高其设备的工艺开发和灵活性来的最高水平。

Last Update: 7. October 2011 11:53

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