Beneq Verstärkt Stellung in Plasma Erhöhtem AtomSchicht-Abscheideanlage-Markt

Published on September 2, 2009 at 9:35 AM

Beneq, eine Firmenlieferung, die industriell ist und R+D-für Funktionsbeschichtungen Geräte und -technologien, hat weiter seine Stellung im Plasma erhöhten AtomSchicht-Abscheideanlagemarkt (PEALD) verstärkt, indem er eine Zusammenarbeitsvereinbarung mit Dr. Arthur Sherman, der Pionier und Tastenerfinder von PEALD-Technologie festlegte.

Dr. Sherman beachtete, dass „PEALD-Technologie wichtige zusätzliche Fähigkeiten zur Verfügung stellt, wenn sie ALD-Prozess- und -chemieoptionen, z.B. für niedrigere Prozesstemperaturen und für neue Beschichtungsmaterialien erweitert, nicht zur Zeit verfügbar mit traditionellem Thermal ALD.“

Dr. Tommi Vainio, CTO von Beneq, fügte, dass „Diese Zusammenarbeitsvereinbarung mit Dr. Sherman, der weiter ist, Beneqs Reihenentwicklung in den PEALD-Anwendungen beschleunigt und nicht nur unsere aktuellen populären Anlagen R&D ALD, TFS 200 und TFS 500 umfaßt, aber auch die zukünftigen Anlagen der industriellen Industrieproduktion ALD hinzu, die PEALD-Fähigkeiten verwenden. Beneqs Abnehmer haben jetzt Zugriff zur starken PEALD-Prozesshalterung, zusätzlich zu den hoch entwickelten und nachgewiesenen ALD-Anlagen von Beneq.“

In Verbindung Gestanden auf dieser Zusammenarbeit, stellte Dr. Sherman die wesentliche Darstellung während Beneqs ALD-Abnehmers zur Verfügung, der sich am 2. September 2009 trifft.

Für zusätzliche Information bringen Sie bitte in Kontakt:
Herr Sampo Ahonen, CEO, Beneq Oy
M: + 358 40 520 1090, sampo.ahonen@beneq.com, www.beneq.com

Beneq Oy, Vantaa, Finnland, ist ein Lieferant des industriellen Geräts und der Technologie für globale Märkte. Beneq macht Innovationen zu Erfolg, indem er Nanotechnologie aktivierte Funktionsbeschichtungsanwendungen für cleantech und der erneuerbaren Energie Bereiche besonders im Glas, photovoltaics und auftauchende Dünnfilmmärkte zur Verfügung stellt. Beneq-Lösungen basieren auf AtomSchicht-Absetzung (ALD) und eigenen atmosphärischen nHALO® u. nAEROTM Aerosolbeschichtungstechnologien.

Last Update: 13. January 2012 19:30

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