Beneq은 플라즈마 강화 원자 층 증착 장비 시장에서 위치를 강화

Published on September 2, 2009 at 9:35 AM

Beneq , 산업 및 R를 제공하는 회사 + D 장비 및 기능 코팅 기술은 더 이상 박사 아더 셔먼 선구자와 키와 협력 계약을 설립하여 플라즈마 강화된 원자 층 증착 (PEALD) 장비 시장에서의 입지를 강화했다 PEALD 기술의 발명가.

박사 셔먼은 "PEALD 기술이 전통적인 열 ALD를 사용하여 현재 사용할 수없는 낮은 공정 온도와 새로운 코팅 재료에 대한 예 ALD 공정 및 화학 옵션, 확장에 중요한 추가 기능을 제공합니다."언급

박사 Tommi Vainio, Beneq의 CTO, 닥터 셔먼과 함께 이번 협력 계약은 추가로 현재 인기있는 R & D ALD 시스템, TFS 200 TFS 500뿐만 아니라 산업 미래뿐만 아니라 포함 PEALD 응용 프로그램에서 Beneq의 확장을 가속 "고 덧붙였다 PEALD 기능을 활용하여 생산 ALD 시스템. Beneq의 고객은 이제 Beneq에서 고급 검증된 ALD 시스템뿐만 아니라, 강력한 PEALD 프로세스 지원에 액세스할 수 있습니다. "

이 협력에 관한 박사 셔먼 2009년 9월 2일에 Beneq의 ALD 고객 회의 기조 프레 젠 테이션을 제공했습니다.

자세한 내용은 연락 주시기 바랍니다 :
미스터 Sampo Ahonen, CEO, Beneq 오이
M : + 358 40 520 1090, sampo.ahonen @ beneq.com, www.beneq.com

Beneq 오이, 반타, 핀란드, 산업용 장비 및 글로벌 시장을위한 기술의 공급 업체입니다. Beneq 특히 유리, 태양 전지에 cleantech 및 신재생 에너지 분야에 대한 나노기술 활성화 기능성 코팅 애플 리케이션을 제공하고 박막 시장을 신흥하여 성공에 혁신을 돌리는 것입니다. Beneq 솔루션은 원자 층 증착 (ALD)와 독점적인 대기 nHALO ® & nAEROTM 에어로졸 코팅 기술을 기반으로하고 있습니다.

Last Update: 9. October 2011 14:53

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