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La Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford Annuncia il Lancio del Sistema Agile di Nanofab 800

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

La Guida nei procedimenti e nei sistemi per incidere, il deposito e la crescita, la Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford (OIPT), ha lanciato appena il Sistema di Nanofab800Agile. Questo nuovo strumento estende l'intervallo di Nanofab degli strumenti altamente flessibili ed i trattamenti dimostrati quale consegnano il trattamento del catalizzatore e la crescita controllabile dei nanotubes e dei nanowires, oltre a consegnare PECVD standard ed ad alta temperatura.

Il Sistema di Nanofab800Agile fornisce le opportunità dello sviluppo di influenzare la crescita dei nanostructures. Con la temperatura fino a 800oC ed il riscaldamento agile ed il raffreddamento per il ritorno rapido il Sistema egualmente consegna il controllo dell'allineamento e le dimensioni dei nanostructures.

Gli Assegni complementari comprendono le dimensioni del campione variabili fino ai wafer di massimo 200mm, all'uniformità eccellente della temperatura ed al controllo della temperatura agile. Il sistema è configurato con un blocco del caricamento di vuoto per assicurare la pulizia trattata della camera e di ripetibilità.

Caratterizzando un delivery system liquido facoltativo di sorgente e con l'impostazione sviluppata per la crescita ed il controllo stati allineato dello sforzo della pellicola, il Nanofab800Agile ha la capacità di elaborare nei regimi ad alta pressione ed alti di flusso.

Ian McKinlay, Senior Product Manager per OIPT commenta, “Mentre una società stiamo sforzando costantemente di migliorare il prodotto che offre ai nostri clienti. Questa ultima aggiunta al nostro intervallo significa che i nostri clienti trarranno giovamento dalle funzionalità avanzate, quali il riscaldamento rapido e cicli di raffreddamento, l'uniformità eccellente della temperatura e controllo dei processi. Ciò è fatta un backup dall'estesa libreria trattata di OIPT e dalla competenza delle applicazioni, combinate con il nostro impegno a servizio di assistenza al cliente ed a supporto eccellenti in corso.„

Last Update: 13. January 2012 18:52

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