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オックスフォードインスツルメンツプラズマ技術はNanofab 800アジャイルシステムの発売を発表

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

エッチング、堆積と成長のためのプロセスやシステムのリーディングカンパニー、 オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジー(OIPT)は 、ちょうどNanofab800Agileシステムを開始した。この新しいツールは、標準と高温のPECVDを提供することに加えて、触媒の治療とカーボンナノチューブとナノワイヤーの制御可能な成長を、提供する柔軟性の高いツールと実証済みのプロセスのNanofab範囲を拡張します。

Nanofab800Agileシステムは、ナノ構造の成長に影響を与える開発の機会を提供しています。迅速なターンアラウンドのため、最大800℃までの温度、およびアジャイル加熱と冷却とシステムはまた、アライメントやナノ構造の大きさの制御を提供します。

その他の利点は、最大200mmウェーハへの変数のサンプルのサイズアップ、優れた温度均一性、および機敏な温度制御が含まれています。システムは、プロセスの再現性及び室の清浄度を確保するために、真空ロードロックで構成されています。

オプションの液体ソースの配信システムを搭載し、膜応力の配向成長と制御のためのカスタム開発されたセットアップで、Nanofab800Agileは、高圧流況に処理する能力を持っています。

イアンマッキンレー、OIPTコメントのシニアプロダクトマネージャーは、"企業として、私たちは常にお客様への製品提供を改善するために努力している。私達の範囲には、この最新の追加は、お客様がそのような急速加熱冷却サイクルを、優れた温度均一性とプロセス制御などの高度な機能の恩恵を受けることを意味します。これは、継続的な優れた顧客サービスとサポートへのコミットメントを組み合わせた、OIPTの豊富なプロセスライブラリとアプリケーションの専門知識によってバックアップされます。"

Last Update: 12. October 2011 20:39

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