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옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술은 Nanofab 800 민첩한 시스템의 출시를 발표

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

식각, 증착 및 성장을위한 프로세스와 시스템의 리더 옥스포드 인스 트루먼 트의 플라즈마 기술 (OIPT)는 그냥 Nanofab800Agile 시스템을 발표했다. 이 새로운 도구는 표준 고온 PECVD를 제공하는 이외에 촉매 치료 및 나노튜브와 나노 와이어의 성장 제어를 제공하는 매우 유연한 도구와 입증된 프로세스의 Nanofab 범위를 확장합니다.

Nanofab800Agile 시스템 nanostructures의 성장에 영향을 개발 기회를 제공합니다. 빠른 전환을 위해 800oC 온도, 그리고 민첩 가열 및 냉각로 시스템은 또한 정렬과 nanostructures의 크기 제어를 제공합니다.

추가 혜택이 최대 200mm 웨이퍼 변수 샘플 크기까지, 뛰어난 온도 균일성, 그리고 민첩한 온도 제어를 포함합니다. 시스템 프로세스 repeatability 및 챔버 청결을 보장하기 위해 진공 하중 잠금으로 구성됩니다.

옵션 액체 소스 전달 시스템을 특징으로하고, 필름 스트레스 정렬 성장과 제어를위한 사용자 정의 개발 설치와 Nanofab800Agile은 높은 압력과 높은 유동 정권에서 처리하는 능력이 있습니다.

이안 McKinlay, OIPT 덧글에 대한 선임 제품 관리자는 "회사로서 우리는 지속적으로 고객에게 제품 제공을 개선하기 위해 노력하고 있습니다. 우리의 범위이 최근뿐만 아니라 우리 고객이 같은 빠른 가열 및 냉각 사이클, 우수한 온도 균일 성과 공정 제어와 같은 고급 기능의 혜택을 의미합니다. 이것은 지속적으로 탁월한 고객 서비스와 지원을 우리의 노력과 함께, OIPT의 광범위한 프로세스 라이브러리 및 애플 리케이션 전문 기술에 의해 백업됩니다. "

Last Update: 12. October 2011 08:39

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