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A Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford Anuncia o Lançamento do Sistema Ágil de Nanofab 800

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

O Líder nos processos e nos sistemas para gravar, o depósito e o crescimento, Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford (OIPT), apenas lançou o Sistema de Nanofab800Agile. Esta nova ferramenta estendem a escala de Nanofab de ferramentas altamente flexíveis e os processos provados quais entregam o tratamento do catalizador e o crescimento verificável dos nanotubes e dos nanowires, além do que o fornecimento de PECVD padrão e de alta temperatura.

O Sistema de Nanofab800Agile fornece oportunidades da revelação de influenciar o crescimento dos nanostructures. Com temperatura até 800oC, e aquecimento ágil e refrigerar para a rotação rápida o Sistema igualmente entrega o controle do alinhamento e as dimensões dos nanostructures.

Os benefícios Adicionais incluem tamanhos da amostra variáveis até bolachas do máximo 200mm, a uniformidade excelente da temperatura, e o controle de temperatura ágil. O sistema é configurado com um fechamento da carga do vácuo para assegurar a repetibilidade do processo e a limpeza da câmara.

Caracterizando um sistema de entrega líquido opcional da fonte, e com instalação desenvolvida costume para o crescimento e o controle alinhados do esforço do filme, o Nanofab800Agile tem a capacidade para processar nos regimes de alta pressão e altos do fluxo.

Ian McKinlay, Director de Produto Superior para OIPT comenta, “Enquanto uma empresa nós nos estamos esforçando constantemente para melhorar o produto que oferece a nossos clientes. Esta adição a mais atrasada a nossa escala significa que nossos clientes tirarão proveito das características avançadas, tais como o aquecimento rápido e ciclos refrigerando, uniformidade da temperatura e controle de processos excelentes. Isto é suportado pela biblioteca extensiva do processo de OIPT e pela experiência das aplicações, combinadas com nosso comprometimento a serviço ao cliente e a apoio excelentes em curso.”

Last Update: 13. January 2012 16:59

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