Лидер в процессы и системы для травления, осаждения и роста, Oxford Instruments плазменных технологий (OIPT) , только что выпустила Nanofab800Agile системы. Этот новый инструмент расширяет спектр НаноФаб очень гибкий инструмент и проверенных процессов, которые доставляют лечения катализатора и контролируемый рост нанотрубок и нанопроводов, в дополнение к поставке стандартной и высокой температуры ПХО.
Nanofab800Agile Система предоставляет возможности для развития, чтобы повлиять на рост наноструктур. С температурой до 800oC, и ловкие отопления и охлаждения для быстрого оборота Система также обеспечивает контроль выравнивания и размерами наноструктур.
Дополнительные преимущества включают переменную размера выборки до максимальных 200 мм пластин, отличная равномерность температуры, и ловкие контроля температуры. Система настроена с замком вакуумной нагрузки обеспечить повторяемость процесса и камерной чистоты.
Благодаря дополнительным жидкостной системой доставки источника, и с пользовательскими разработана установка для роста выравниваются и контроль фильме стресс, Nanofab800Agile имеет возможность обработки в высоком давлении и высокой режимов течения.
Ян McKinlay, старший менеджер по продуктам OIPT комментарии: "Как компания, мы постоянно стремимся к улучшению продуктового предложения для наших клиентов. Это последнее дополнение к нашему ассортименту означает, что наши клиенты выиграют от расширенных возможностей, таких как быстрый циклов нагрева и охлаждения, отличная равномерность температуры и управления процессом. Это подкреплено широкого процесса OIPT библиотекой и прикладному опыту, в сочетании с нашей приверженностью к текущей высокий уровень обслуживания клиентов и поддержки. "