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牛津儀器等離子技術宣佈 Nanofab 800 敏捷系統生成

Published on September 3, 2009 at 6:21 AM

領導先鋒在進程和系統中銘刻,證言和增長的,牛津儀器等離子技術 (OIPT),發行了 Nanofab800Agile 系統。 此新工具延伸高度靈活的工具的 Nanofab 範圍和證實的進程除傳送標準和高溫 PECVD 之外,哪些提供催化劑處理和 nanotubes 和 nanowires 可控制的增長。

Nanofab800Agile 系統提供發展機會影響 nanostructures 增長。 至 800oC 的溫度和敏捷熱化和冷卻迅速週轉的系統也提供對準線 nanostructures 的控制和維數。

附加利益包括可變的樣本大小至最大數量 200mm 薄酥餅、非常好的溫度均一和敏捷溫度控制。 這個系統配置以真空負荷鎖定保證處理反覆性和房間潔淨。

以選項液體來源送貨系統為特色,和與影片重點對齊的增長和控制的按客戶需要開發的設置, Nanofab800Agile 在高壓和高流政權有這個能力處理。

伊恩 McKinlay, OIPT 的高級產品管理器評論, 「當公司我們經常努力改進提供為我們的客戶的這個產品。 對我們的範圍的此最新的添加意味我們的客戶將受益於先進特點,例如迅速熱化和冷卻的循環,非常好溫度均一和程序控制。 這由 OIPT 的廣泛的處理圖書館和應用專門技術支持,結合與我們的對持續的非常好的客戶服務部和技術支持的承諾」。

Last Update: 25. January 2012 02:03

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