Site Sponsors
  • Technical Sales Solutions - 5% off any SEM, TEM, FIB or Dual Beam
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Carl Zeiss מציגה את הדור הבא של מערכת הכשרה מטרות מסכת

Published on September 14, 2009 at 3:33 AM

בכנס טכנולוגיה Photomask 2009 במונטריי / CA Carl Zeiss מציגה את הדור הבא של מטרות actinic שלהם ™ מערכת מסכה ההסמכה. איימס ™ 32-193i מחקה את הדמיה של photomasks עם החדשנית סורקים טבילה 193nm עבור הצומת מעבר 32nm ו. משלוח ראשון ללקוח הקצה המוביל מתוכנן לחודש ספטמבר 2009.

מערכת Actinic הכשרה מסכת מטרות 32-193i.

תמונה אוויר מדידה טכנולוגיה של Carl Zeiss כבר מתקדמת באופן משמעותי, כדי לאפשר אמולציה מדויקת של 32nm טכניקות ליתוגרפיה כגון דפוסים כפולה Technology Optimization, מסכת מקור ליתוגרפיה חישובית.

מסכה עיצובים מורכבים יחד עם התוצאה CD מפרט חזק יותר אתגרים חדשים להסמכת photomask לגבי הדירות ואת איכות התמונה. מטרת ™ 32-193i תוכנן במיוחד על המקבילה רמת רקיק עבור מפרט תקליטור הדירות מתחת 0.25nm כדי 1.00nm ברמה מסכה. "בהתבסס על המומחיות רחבה של Carl Zeiss עם טכנולוגיות העדשה סורק הצגנו ליטו חדש ™ אופטיקה בכיתה ב איימס ™ 32-193i הבטחת סורק כמו ביצועי הדמיה", אמר ד"ר אוליבר Kienzle, מנכ"ל חטיבת Carl Zeiss סמיקונדקטור מטרולוגיה מערכות. "המערכת כוללת כעת את הטכנולוגיה בשלב interferometric דיוק נוסף במיצוב מסכה".

מערכת תאורה מתקדמת מאפשרת אמולציה של כל מיני הגדרות התאורה 193nm. בפעם הראשונה בהיסטוריה מטרות ™ שידור משתנה התלמיד תאורה זמין כעת עם מטרות ™ 32-193i. בעוד איימס ™ דורות קודמים היו מוגבלים חלוקת עוצמת בינארי על ידי תיאור גיאומטרי סיגמא צמצם את ערכת תאורה כעת ניתן להגדיר בעוצמה אפור בקנה מידה שונות כמו הסורקים המתקדמים ביותר. תוכניות תאורה כאלה יכולים להיות מותאמים בגמישות הפצות עוצמת שונים בתוך האישון.

לפיכך, מטרות ™ 32-193i מאפשרת מסכה מדויק פגם אופי והסמכה לתקן עבור מסכות 32nm ומבטיח המבוא של טכנולוגיות ליתוגרפיה הקרובה כגון דפוסים כפולה, ליתוגרפיה חישובית (הופכי litho טכנולוגיה) ואת מסכת המקור אופטימיזציה (SMO).

Last Update: 7. October 2011 11:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit