Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

KLA-Tencor Introduceert Teron 600 Systemen van de Inspectie van het Tekort van het Dradenkruis

Published on September 14, 2009 at 8:01 PM

Vandaag KLA-Tencor Corporation (NASDAQ :KLAC), introduceerden de belangrijke leverancier van de wereld van procesbeheersing en de oplossingen van het opbrengstbeheer voor de halfgeleider en de verwante industrieën, Teron van het het dradenkruis (masker) tekort van 600 de inspectiesystemen Reeksen. Richtend een belangrijke overgang in maskerontwerp bij de 2Xnm logica (3Xnm helft-hoogte geheugen) knoop, zal nieuwe Teron 600 platform programmeerbaar scanner-verlichting vermogen introduceren en zal significante verbeteringen van gevoeligheid en computerlithografiemacht over het huidige industrie-standaardplatform, TeraScanTMXR aanbieden. Deze vooruitgang is noodzakelijk om ontwikkeling en productie van de innovatieve dradenkruisen toe te laten die de 2Xnm knoop onderscheiden.

Kenmerkt nieuwe Teron 600 van KLA-Tencor de inspectieplatform van het dradenkruistekort innovaties in weergave en computerlithografie, toelatend maskerfabrikanten om dradenkruisen te ontwikkelen en te produceren om de grote verscheidenheid van voorgestelde 2Xnm lithografietechnologieën te steunen. (Foto: Business Wire)

Traditioneel zijn de maskerontwerpers met een maskerpatroon begonnen dat als het patroon van het doelwafeltje kijkt, die kleine aanpassingen maken aan de maskereigenschappen (optisch nabijheidscorrecties of PORTLANDCEMENT) tot de gewenste wafeltjestructuren worden bereikt. Deze benadering begint bij de 2Xnm knoop, ten gevolge van het uitbreiden van 193nm lithografie in een extreem sub-golflengteregime op te splitsen. Aldus, bij de 2Xnm knoop, worden de computerlithografietechnieken zoals de Omgekeerde Technologie (ILT) van de Lithografie en Optimalisering de Bron (SMO) van het Masker haalbaar. ILT produceert typisch een complex maskerpatroon met een enorm aantal zeer kleine eigenschappen, die het masker moeilijk maken te vervaardigen. Om kwesties te compliceren nog verder, Optimalisering impliceert de Bron (SMO) van het Masker het berekenen van een niet-uniform intensiteitsprofiel voor de scannerbron. Dat het profiel samen met het masker wordt ontworpen werken ILT om de optimale lithografische resultaten op het wafeltje te leveren .

De "dramatische verandering in dradenkruisstrategie voor heeft de 2Xnm apparatengeneratie tot een discontinuïteit in de inspectie van het dradenkruistekort geleid , " merkte Brian Haas , ondervoorzitter en algemene manager van het Dradenkruis en de Afdeling van de Inspectie Photomask in KLA-Tencor op . De "dradenkruiseigenschappen zijn veel kleiner dan u van 3Xnm tot 2Xnm krimpt zou voorspellen . Bovendien is het maskerpatroon zo gebroken dat het niet meer haalbaar voor een ingenieur om de plaats van een dradenkruistekort is te bekijken en te besluiten of het waarschijnlijk om op zal af te drukken wafeltje-en potentieel een catastrofaal opbrengstverlies in fab te veroorzaken. Voor de 2Xnm knoop, moeten wij een de verlichtingsprofiel van de douanescanner invoeren, polarisatie met gevolgen en photoresist kunnen rekening houden, en streng het effect berekenen van het dradenkruistekort op het wafeltje. Teron 600 de sterkte van hefboomwerkingen KLA-Tencor in computerlithografie en onze ervaring van het ontwikkelen van en de productie van zes generaties van de platforms van de dradenkruisinspectie. Dientengevolge is het een uiterst high-resolution, met geringe geluidssterkte die systeem van de dradenkruisinspectie, voor de nieuwe 2Xnm uitdagingen wordt uitgerust. Het is een grote voltooiing want KLA-Tencor die wij geloven enorm voor onze klanten en industrie.“ zal toelaten

Teron 600 is platform ook ontworpen voor flexibiliteit en extendibility. Het systeem heeft met succes prototypedradenkruisen geïnspecteerd voor ILT/SMO, dubbel-vormend lithografie, (DPL) en EUV worden gecreeerd (maskers en spaties die). Het systeem wordt gebouwd verlengbaar om aan potentiële 1Xnm optische oplossingen te zijn. Voorts kan Teron 600 Reeksen met TeraScan van KLA-Tencor van het het dradenkruistekort van 500 Reeksen de inspectiesystemen in een mengeling-en-gelijkestrategie werken, om een rendabele oplossing voor productie photomask reeksen te verstrekken die zowel kritieke als onkritische lagen omvatten.

Nieuwe Teron zal van het het dradenkruistekort van 600 Reeksen de inspectiesystemen verscheidene die eigenschappen omvatten worden ontworpen om productie van geavanceerde optische maskers en ontwikkeling van maskers toe te laten EUV die, omvatten:

  • De Nieuwe 193nm golflengte , kleiner pixel , verbeterde beeldverwerking en ultra-low lawaaiverrichting om high-resolution inspectie van het dradenkruisvliegtuig te verstrekken (RPI) ;
  • Matrijs-aan-Gegevensbestand en de matrijs-aan-matrijs werkende wijzen, die tekort toelaten vangen door de matrijs en op een brede waaier van dradenkruislay-outs;
  • De wafeltje-Vlakke inspectie (WPI) voor voorspelling van de geschiktheid tot drukken van het dradenkruistekort , voltooit met photoresist thresholding en modellering van van de sub-golflengtediffractie en polarisatie gevolgen ;
  • Het Nieuwe gebruiker-configureerbare model van de scannerverlichting, die voorspelling van de geschiktheid tot drukken toelaten van het dradenkruistekort wanneer SMO, ILT of andere niet genormaliseerde meetkunde van de scannerverlichting worden uitgevoerd;
  • HetVlakke filtreren van lasttekorten, die vroege procesontwikkeling en snellere cyclustijd vergemakkelijken tijdens maskerproductie; en
  • Verenigbaarheid tussen platforms Teron en TeraScan, voor capaciteitsoptimalisering en efficiënte integratie van gegevens van kritieke en onkritische lagen.

Voor meer informatie over hoe Teron van het het dradenkruistekort van 600 Reeksen de inspectiesystemen photomask fabrikanten toelaat om maskers te veroorzaken en te verschepen vrij van geschikt om gedrukt te worden tekorten bij de 2Xnm knoop, te bezoeken gelieve de productWeb-pagina bij: http://www.kla-tencor.com/reticle/teron-600.html.

Last Update: 13. January 2012 19:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit