회사는 웨이퍼 수준 3D 통합에 있는 지도력을 강화합니다

Published on October 6, 2009 at 3:09 AM

주요한 반도체 주조와 중요한 소비자 전자공학 제조자에 300 mm 웨이퍼를 위한 2개의 자동화한 융해 접합 시스템의 임명을 완료했다는 것을 EV 단 (EVG), MEMS 의 나노 과학과 반도체 시장을 위한 웨이퍼 접합과 석판인쇄술 장비의 주요한 공급자는, 오늘 알렸습니다. GEMINI® FB에 의하여 자동화된 생산 융해 접합 시스템은 이동 전화를 위한 매우 조밀한 웨이퍼 수준 사진기에서 더 큰 형태 인자 상한 심상 센서에 구역 수색하는 후부에 의하여 조명된 CMOS 심상 센서의 생산을 위해 채택될 것입니다. 이 융해 접합 시스템은 소유권, 높은 처리량 및 높은 줄맞춤 정확도의 저가를 위한 중요한 고객 요구를 (CoO) 만족시키는 그들의 기능에 근거하여 선정되었습니다.

행정상 기술 디렉터 폴 Lindner, EVG의 주의된, "우리는, 후부에 의하여 분명히된 CMOS 심상 센서 발달 및 제조는 향상된에 있는 책임을 지도하고 있는 2명의 아주 중요한 고객에게서 우리의 쌍둥이 자리 FB 융해 접합 시스템을 위한 후속 명령을 수신하기 위하여 오싹됩니다. EVG는 광학적으로 맞추어진 낮 온도 융해 접합을 개척한 회사입니다, 이 시스템 설치는 더 시멘트를 바릅니다 웨이퍼 수준 사진기 생산 설비 필드에 있는 우리의 지도적 위치에."

EVG의 쌍둥이 자리 FB는 보세품 웨이퍼의 자동화하고 통합되고 웨이퍼 선적, 줄맞춤, 접합 내리기를 위한 필드 증명한 생산 융해 접합 시스템 300까지 mm입니다. 쌍둥이 자리 FB의 유연한 다발 디자인은 청소와 같은 융해 접합에 지점 유대 검사를 위한 낮 온도 플라스마 활성화 모듈 특정, 전 접합 프로세스 모듈 뿐 아니라 적외선 검사 모듈의 통합을 허용합니다. 쌍둥이 자리 FB 플래트홈의 중심에 EVG의 SmartView® 기술은 입니다--웨이퍼의 정면으로 마주보는, 후부의, 적외선 및 투명한 줄맞춤을 위한 소유의, 유니버설 노예 줄맞춤 시스템 비 IR 투명한 기질을 포함하여 간격 그리고 물자 여러가지 300까지 mm. 필적할 수 없은, 미크론 이하 줄맞춤 정확도, SmartView를 제안하는 것은 앞 가장자리 3D 통합 응용을 위해 겹쳐 쌓이는 다중 웨이퍼를 위한 극단적인 정확도 필수품 달성을 위한 쌍둥이 자리 FB의 중요한 성분입니다.

3D 통합을 위한 웨이퍼 접합 해결책

100개 자동화한 웨이퍼 접합 시스템으로 세계전반 설치했습니다, EVG의 쌍둥이 자리에 의하여 자동화된 생산 접합 시스템은 투자 수익 가장 낮은 총 구구하는 소리 그리고 가장 빠른을 위해 디자인됩니다. 앞 가장자리 제품 이외에, 회사는 오스트리아, 미국 및 일본에 있는 그것의 최신식 응용 실험실을 통해서 우량한 가공 전문 기술을 전달합니다. EVG는 고객의 제조 시설에 처음 발달에서 마지막 통합에 웨이퍼 수준 사진기 필드에 있는 그것의 성장하고 있는 글로벌 고객 기초로 공저합니다. CMOS 심상 센서 웨이퍼 공정 장치에 있는 그것의 지배적인 위치 이외에, EVG는 마이크로 렌즈의 제작, 깊 식각한 트렌치의 얇 웨이퍼 취급 및 높게 획일한 코팅을 위한 무료한 가공 단계를 위한 주요한 해결책 공급자입니다.

Last Update: 13. January 2012 19:37

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