다우 코닝 최신 세대 AIXTRON 행성 반응기를 가진 SiC 켜쌓기 기능을 확장합니다

Published on October 12, 2009 at 3:12 AM

다우 코닝 10x100 mm와 미래 6x150 mm SiC 웨이퍼를 위한 최신 세대 AIXTRON 행성 반응기 플래트홈 AIX 2800G4 WW를 가진 그것의 SiC 켜쌓기 기능을 확장하고 있다는 것을 다우 코닝과 AIXTRON AG 오늘 알렸습니다. 반응기는 2학기 2010년에서 위임되기 위하여 계획됩니다.

Loboda 의 과학을 표를 하거든 기술 매니저, 다우 코닝 합성 반도체 해결책은 준엄한 검토 후에, ", 우리 선정했습니다 AIXTRON 저희를 우리의 고객이 요구한 형태학, 결점 조밀도 및 균등성을 전달하는 가능하게 하도록 시스템을 말했습니다. 150mm까지 추가한 수용량 그리고 기능은 고성능 SiC 장치 생산을 위한 우리의 고객의 성장 필수품을 급속하게 만족시키는 것을 허용할 것입니다 저희가."

Frank Wischmeyer 박사, 부사장 및 전무 이사, AIXTRON AB, 추가되는 스웨덴: "10 년의 우리의 SiC 최신 벽 행성 반응기 기술을 가진 경험 이상 건물 위에, 우리는 입증된 차세대 SiC AIX 2800G4 WW에게 코피 생산 제도를 제안할 수 있습니다. 시스템의 강화된 생산력은 중앙 근해에 의하여 냉각된 3배 가스 인젝터 향상된 가공 강건함 및 단순화된 관리 절차와 같은 설계 특징 때문이. AIXTRON의 입증된 IC 디자인에 바탕을 두어, AIX 2800G4 WW 시스템은 300의 설치된 시스템 이상으로 일반적인 플래트홈을 세계전반 공유합니다. AIXTRON는 제조하는 높은 볼륨 저가로 SiC 장치를." 진행하는 때 다우 코닝 합성 반도체 해결책으로 파트너가 되기 위하여 만족됩니다

기간 행성 Reactor®는 등록 상표입니다.

Last Update: 13. January 2012 18:56

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