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道康宁扩大 SiC 与最新的生成 AIXTRON 星球反应器的外延功能

Published on October 12, 2009 at 3:12 AM

道康宁和 AG AIXTRON 今天宣布道康宁扩大其与最新的生成 AIXTRON 星球反应器平台 AIX 10x100 mm 和远期 6x150 mm SiC 薄酥饼的 2800G4 WW 的 SiC 外延功能。 反应器在第二季度计划被委任 2010年。

标记 Loboda,科学技术经理,道康宁化合物半导体解决方法,在严谨复核以后说, “我们选择 AIXTRON 系统使我们提供我们的客户和均一需要的形态学、缺陷密度。 被添加的能力和功能至 150mm 将允许我们迅速地适应我们的客户的成长必需品对大功率 SiC 设备生产”。

弗兰克 Wischmeyer 博士, AIXTRON AB,瑞典副总统和总经理,被添加: “大厦在 10 年与我们的 SiC 热墙壁星球反应器技术的经验期间,我们能提供证明的下一代 SiC AIX 2800G4 WW 外延生产系统。 这个系统的改进的生产率归结于设计特点例如一个中央水冷的三次气体注射器、被改进的处理强壮和简化的维修次序。 凭 AIXTRON 的证明的集成电路设计, AIX 2800G4 WW 系统与 300 个安装的系统共享一个公用平台全世界。 AIXTRON 高兴地成为伙伴用道康宁化合物半导体解决方法,当他们提前 SiC 设备到制造大容积的低成本”。

这个术语星球 Reactor® 是注册商标。

Last Update: 13. January 2012 10:27

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