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道康寧公司擴展了SiC外延功能的新一代AIXTRON行星反應堆

Published on October 12, 2009 at 3:12 AM

道康寧和AIXTRON AG公司今天宣布,道康寧公司正在擴展其最新一代的AIXTRON行星反應堆平台AIX 2800G4 WW 10x100毫米和未來6x150毫米SiC晶圓碳化矽外延能力。該反應堆計劃將在2010年第二季度投產。

馬克 Loboda,科學和技術部經理,道康寧化合物半導體解決方案,說:“經過嚴格的審查,我們選擇了AIXTRON系統,以使我們能夠提供我們的客戶所需要的形態,缺陷密度和均勻性。增加的容量和能力高達 150毫米,將使我們能夠滿足客戶快速增長的高功率SiC器件生產的需要。“

Wischmeyer弗蘭克博士,副總裁兼董事總經理,AIXTRON AB,瑞典補充說:“大廈逾10年的經驗與我們的碳化矽熱壁行星式反應器技術,我們能夠提供成熟的下一代SIC AIX 2800G4 WW外延生產系統。該系統提高生產率是由於設計功能,如中央水冷式三聯氣體噴射器,改進的過程魯棒性,並簡化了維護程序。 AIX 2800G4 WW系統基於 AIXTRON的成熟的IC設計,安裝超過 300個系統在世界範圍內共享一個共同的平台。 AIXTRON的很高興與道康寧化合物半導體解決方案的合作夥伴,因為他們提前碳化矽進入大批量低成本製造的設備。“

行星一詞反應堆 ®是一個註冊商標。

Last Update: 3. October 2011 07:12

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