SINANO Empfängt Hilfsmittel AIXTRON Schwarzer Magie-CNT für Experimente in LPCVD- und PECVD-Modi

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

SINANO, Suzhou-Institut von Nanotech und Nano--Bionik der Chinesischen Akademie der Wissenschaften, China, vor kurzem empfangen ihrem neuen Hilfsmittel Schwarzer Magie CNT AIXTRON. Es wurde in einer 2-Zoll- Wafer-Konfiguration im Zweiten Quartal von 2009 entbunden.

Prof Qingwen Li, von SINANO-Kommentaren: „Einbau und die Beauftragung der Anlage Schwarzer Magie AIXTRON gingen glatt und bereits haben wir einige Experimente in LPCVD- und PECVD-Modi durchgeführt. Wir verwendeten unsere eigenen Katalysatoren und erzielten vertikal ausgerichtete Kohlenstoff nanotube Reihen mit typischen Wachstumsraten von 60 Mikrons pro Protokoll. Unter Verwendung PECVD konnte ein tadellos gerader CNT-Reihenfilm erhalten werden. SEM-Bilder der zwei Proben synthetisiert durch die zwei Modi zeigten die in hohem Grade annehmbaren und reproduzierbaren Ergebnisse.

Wir zielen jetzt darauf ab, ultralong CNT Reihen mit kontrollierbaren Zellen für nanocomposites vorzubereiten und kopierte CNT-Reihen für Einheitsfälschung,“ sagt Prof Qingwen Li. „Der vertikale showerhead-basierte Wachstumsreaktor, schnelle die Heizungsstufe und schnellen die Beispielumkehrmerkmale sind die entscheidenden Faktoren für unsere Kaufentscheidung gewesen-. Hinsichtlich unserer Anfangsschlussfolgerungen auf der neuen Anlage, hat alles wie erwartet durchgeführt. Es ist mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle sehr bedienungsfreundlich. Darüber hinaus ist die in-situüberwachung des Wachstumsprozesses ein beträchtlicher Vorteil“.

Last Update: 13. January 2012 14:42

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