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SINANO Riceve AIXTRON Black Magic Strumento CNT per esperimenti in modalità LPCVD e PECVD

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

SINANO, Suzhou Istituto di Nanotech e Nano-bionica della Accademia Cinese delle Scienze, in Cina, ha recentemente ricevuto il loro nuovo AIXTRON Black Magic strumento CNT. E 'stato consegnato in una configurazione di wafer da 2 pollici nel secondo trimestre del 2009.

Prof. Qingwen Li, dai commenti SINANO: "Installazione e messa in servizio del sistema AIXTRON Black Magic è andato liscio e già abbiamo effettuato alcuni esperimenti sia in modalità LPCVD e PECVD. Abbiamo usato i nostri propri catalizzatori e ha raggiunto allineati verticalmente array di nanotubi di carbonio con tassi di crescita tipica di 60 micron al minuto. Utilizzando PECVD, un film di serie perfettamente dritto CNT possono essere ottenuti. Immagini SEM dei due campioni sintetizzato le due modalità hanno mostrato risultati molto accettabili e riproducibili.

Ora lo scopo di preparare Ultralungo array CNT con strutture controllabile per nanocompositi e fantasia array CNT per fabbricazione del dispositivo ", dice il Prof. Qingwen Li. "La verticale doccia a base di reattore di crescita, la fase di riscaldamento veloce e rapido le caratteristiche di risposta del campione sono stati i fattori cruciali per la nostra decisione di acquisto. Per quanto riguarda le nostre prime conclusioni sul nuovo sistema, tutto è eseguito come previsto. E 'molto facile da usare con una interfaccia user-friendly. Inoltre, il monitoraggio in situ del processo di crescita è un vantaggio significativo ".

Last Update: 9. October 2011 15:27

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