SINANO は LPCVD および PECVD のモードの実験のための AIXTRON のブラックマジック CNT のツールを受け取ります

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

Nanotech の SINANO、蘇州の協会および中国の科学アカデミー、最近新しい AIXTRON のブラックマジック CNT のツール受け取られる中国の Nano 生物工学。 それは 2009 年の第二期の 2 インチのウエファー構成で渡されました。

SINANO の注釈からの Qingwen 李教授、: 「AIXTRON のブラックマジックシステムのインストールそして依託はスムーズに行き、既に私達は LPCVD および PECVD の両方モードのある実験を遂行してしまいました。 私達は私達の自身の触媒を使用し、 1 分あたり 60 ミクロンの典型的な成長率の縦に一直線に並べられたカーボン nanotube のアレイを達成しました。 PECVD を使用して、完全にまっすぐな CNT のアレイフィルムは得ることができます。 2 つのモードによって総合された 2 つのサンプルの SEM の画像は非常に受諾可能で、再生可能な結果を示しました。

私達は今 nanocomposites のために制御可能な構造との ultralong CNT のアレイを準備することを向け、装置製造のための模造された CNT のアレイ」、教授を言います Qingwen 李。 「縦のシャワー・ヘッドベースの成長リアクター、速い暖房の段階および急速なサンプル所要機能はずっと私達の購入の決定のための重大な要因です。 新しいシステムの私達の最初の結論に関して、すべては期待どおりに行いました。 それはユーザーフレンドリーインターフェイスと非常に使いやすいです。 さらに、成長プロセスの in-situ モニタリングは重要な利点」です。

Last Update: 13. January 2012 11:20

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