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SINANO는 LPCVD와 PECVD 최빈값에 있는 실험을 위한 AIXTRON 불랙 매직 CNT 공구를 수신합니다

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

Nanotech의 SINANO, Suzhou 학회 및 중국 과학 아카데미, 최근에 그들의 새로운 AIXTRON 불랙 매직 CNT 공구이라고 수신되는 중국의 Nano 생체 공학. 그것은 2009년의 2학기에 있는 2 인치 웨이퍼 윤곽에서 투발되었습니다.

SINANO 코멘트에서 Qingwen Li 교수: "AIXTRON 불랙 매직 시스템의 임명 그리고 위임은 매끄럽게 가고 이미 우리는 LPCVD와 PECVD 둘 다 최빈값에 있는 몇몇 실험을 실행했습니다. 우리는 우리의 자신의 촉매를 이용하고 분 당 60 미크론의 전형적인 성장율을 가진 수직으로 맞추어진 탄소 nanotube 소집을 달성했습니다. PECVD를 사용하여, 완벽하게 똑바른 CNT 소집 필름은 장악될 수 있었습니다. 2개의 최빈값에 의해 종합된 2개 견본의 SEM 심상은 높게 수용 가능하고 재생 가능한 결과를 보여주었습니다.

우리는 지금 nanocomposites를 위해 지배할 수 있는 구조물을 가진 ultralong CNT 소집을 준비하는 것을 작정이고 장치 제작을 위한 모방된 CNT 소집," 교수를 말합니다 Qingwen Li. "수직 샤워 꼭지 기지를 둔 성장 반응기, 단단 난방 단계 및 급속한 견본 선회 특징은 계속 우리의 구매 결정을 위한 결정적인 요인입니다. 새로운 시스템에 우리의 처음 결론에 관해서는, 모두는 예상했던대로 능력을 발휘했습니다. 그것은 사용하기 쉬운 공용영역에 아주 사용하기 편합니다. 추가적으로, 성장 프로세스의 제자리 감시는 중요한 이점"입니다.

Last Update: 13. January 2012 17:34

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