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SINANO Recebe AIXTRON Black Magic CNT Ferramenta para Experimentos em Modos LPCVD e PECVD

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

SINANO, Suzhou Instituto de Nanotech e Nano-biônica da Academia Chinesa de Ciência, China, recebeu recentemente o seu novo AIXTRON Black Magic ferramenta CNT. Foi entregue em uma configuração de wafer 2 polegadas no segundo trimestre de 2009.

Prof Qingwen Li, a partir de comentários SINANO: Instalação "e comissionamento do sistema AIXTRON Black Magic correu bem e já fizemos algumas experiências em ambos os modos LPCVD e PECVD. Nós usamos nossos próprios catalisadores e alcançou matrizes de nanotubos de carbono alinhados verticalmente com taxas de crescimento típico de 60 microns por minuto. Usando PECVD, um filme conjunto perfeitamente reto CNT poderia ser obtido. SEM imagens das duas amostras sintetizados por dois modos mostrou resultados altamente aceitáveis ​​e reprodutíveis.

Nós agora visam preparar ultralonga arrays CNT com estruturas controlável para nanocompósitos e matrizes padronizadas CNT para fabricação de dispositivos ", diz o professor Li Qingwen. "O verticais showerhead baseado reator de crescimento, estágio de aquecimento rápido e possui recuperação rápida da amostra foram os fatores cruciais para a nossa decisão de compra. Quanto à nossas conclusões iniciais sobre o novo sistema, tudo tem o desempenho esperado. É muito fácil de usar com uma interface amigável. Além disso, o monitoramento in-situ do processo de crescimento é uma vantagem significativa ".

Last Update: 4. October 2011 14:22

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