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SINANO 接受 AIXTRON 为实验的不可思议 CNT 工具在 LPCVD 和 PECVD 模式下

SINANO、 Nanotech 苏州中国科学院,中国学院和纳诺仿生学,最近被接受他们新的 AIXTRON 不可思议 CNT 工具。 它在第二季度的一种 2 英寸薄酥饼配置被传送了 2009年。

Qingwen 李教授从 SINANO 备注的, : “安装和委任 AIXTRON 不可思议系统顺利去,并且我们在 LPCVD 和 PECVD 模式下已经执行了有些实验。 我们使用了我们自己的催化剂并且达到与典型的生长率的垂直对齐的碳 nanotube 列阵每分钟 60 微米。 使用 PECVD,一部完全平直的 CNT 列阵影片能得到。 二个模式综合的二个范例的 SEM 图象显示了高度可接受和再现结果。

我们现在打算与可控制的结构的 ultralong CNT 列阵为 nanocomposites 做准备,并且设备制造的被仿造的 CNT 列阵”, Qingwen 李教授说。 “垂直的基于淋浴喷头的增长反应器、快速热化阶段和迅速范例周转功能是我们采购的决策的关键的系数。 至于我们关于新的系统的最初的结论,一切执行得正如所料。 它是非常易用的与一个用户友好界面。 另外,增长进程的原地监控是一个重大的好处”。

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