信濃為低壓化學氣相沉積和PECVD模式的實驗接收AIXTRON的黑魔法CNT工具

Published on October 27, 2009 at 4:14 AM

信濃,蘇州中國,中國科學研究院的納米技術與納米仿生研究所,最近收到了他們新AIXTRON黑魔法碳納米管的工具。這是一個 2英寸的晶圓配置,在2009年第二季度交付。

晴雯李教授,從信濃的評論:“AIXTRON黑魔法系統的安裝和調試進展順利,我們已經進行了低壓化學氣相沉積和PECVD模式的一些實驗。我們用我們自己的催化劑,並實現了每分鐘 60微米的典型增長率垂直排列的碳納米管陣列。使用PECVD,筆直的碳納米管陣列膜可以得到的。兩種模式合成的兩個樣品的SEM照片顯示高度接受和可重複性的結果。

晴雯李教授說,“我們現在的目標是準備超長碳納米管陣列與納米複合材料和設備製造的圖案碳納米管陣列的可控結構。 “垂直花灑的增長反應器,加熱速度快的階段,快速的樣品周轉的特點已為我們的購買決策的關鍵因素。至於我們對新系統的初步結論,一切都如預期般執行。這是一個友好的用戶界面非常容易使用。此外,在現場監測的成長過程是一個顯著的優勢。“

Last Update: 9. October 2011 14:43

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