安捷倫與斯坦福大學合作,探索新的納米器件類

Published on October 27, 2009 at 7:54 PM

安捷倫科技公司(NYSE:A)今天宣布,它是與斯坦福大學合作的一項研究計劃,旨在探討使用掃描探針顯微鏡(SPM)和原子層沉積(ALD)的一個組合的納米器件的一個新類。這項研究將啟用快速原型和表徵與分10納米規模突破了廣泛的應用的納米器件。

弗里茨普林茨教授和主席,機械工程,斯坦福大學,說:“”新穎的納米結構將製備和在這種獨特的SPM - ALD工具的特點在原地,以快速原型的下一代設備的多種。 “的SPM - ALD的工具,將使我們能夠建立設備,採取小尺度,長度不能與傳統的光刻方法訪問的尺度的量子限制效應的優勢,這些設備只能建成擁有非凡的空間與製造工具決議。“

這個方案的重點是對 ALD的整合,能夠亞納米厚度精度的薄膜技術,納米,在驅動器中,以延長的掃描探針技術的原型設計和設備製造能力的橫向分辨率的SPM。從歷史上看,電子設備的性能一直局限於傳統的製造方法,如光學和電子束光刻,這是不太可能提供功能顯著低於 20納米的決議。然而,量子力學效應的電子設備 10納米或更小的質量比在大型設備上看到的那些不同的現象的結果監禁。趁著這個量子限制的預測結果在電子設備的新範式。

“我們之所以選擇這個斯坦福大學授予普林茨教授和他的團隊公認的專長,以及擬議的研究和未來,安捷倫的SPM業務之間的密切協調,Wenstrand”傑克說,安捷倫科技大學關係總監。安捷倫和斯坦福大學之間的工作是安捷倫的高校關係計劃,促進與世界各地的大學合作的一部分。安捷倫支持與世界各地的大學通過直接補助和合作研究的科學工作。

Last Update: 3. October 2011 10:28

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