应用材料公司扩大AKT支点55KV PVD系统,包括先进的铜沉积处理

Published on October 27, 2009 at 8:57 PM

应用材料公司今天宣布,它已扩大其突破性的AKT支点™55KV的PVD *系统,包括先进的铜生产的TFT - LCD平板显示器(FPD)的沉积处理。使用PIVOT系统,FPD制造商过渡,从铝到铜公交线路,以实现更快的像素响应和更低的功耗在下一代液晶电视面板。 PIVOT系统提供基准,具有成本效益的铜沉积性能相结合,增强薄膜形态的高沉积速率,利用高效率的目标和长期维护间隔。

应用材料公司扩大其突破性的AKT支点PVD系统的功能,包括先进的铜沉积处理。 (照片:美国商业资讯)

透视系统的卓越的薄膜质量的关键是其专有的旋转阴极设计,采用独特的沉积的调制技术,以存款统一的粮食流通,低电阻和高厚度均匀的铜层。透视系统还可以使大于80%的目标提供显著节省昂贵的目标材料的利用率。

“通过提供无与伦比的电影属性和高效的原始材料的利用率,我们的AKT -枢轴系统答案今天的液晶电视市场,是带动更大超高定义面板的需求和要求在沉积技术的创新,以提供高品质的关键需求低所有权成本的电​​影,说:“托马克博士,高级副总裁兼总经理,应用材料公司的显示,能源和环境解决方案组。 “证明该系统的生产力和专有的铜工艺技术创造一个强大的附加功能,我们的平板显示解决方案的强大组合。”

透视系统的模块化结构,使种类繁多的配置,以最大限度地提高生产效率,消除了在传统的线机不同的模块由不同的进程时间造成的瓶颈。透视系统的安排般的集群还允许在单个模块维护连续运行。结合长的维修时间间隔和扩展目标的生活,透视系统提供业界最高的可用性和最长的连续生产时间。

AKT支点55KV物理气相沉积系统的卓越的铜沉积技术在应用材料公司的展位在日本横滨国际平面显示器和2009年的绿色设备,十月28日至30日将展出应用的先进的FPD制造解决方案组合的一部分。这些解决方案包括PECVD *的TFT阵列和彩色过滤器,电子束阵列测试技术,工厂自动化和服务,PVD。此外,应用材料公司将展示其环保设备制造技术,包括太阳能,LOW - E镀膜玻璃和卷对卷灵活的光伏沉积和显示。

应用材料公司(纳斯达克股票代码:AMAT)是全球领先的纳米技术™解决方案的广泛产品组合的创新设备,服务和软件产品,用于制造半导体芯片,平板显示器,太阳能光伏电池,柔性电子产品和能源

高效玻璃。在应用材料公司用纳米制造技术改善人们的生活。了解在www.appliedmaterials.com。

* TFT - LCD的薄膜晶体管液晶液晶显示器; PVD ​​=物理气相沉积的PECVD等离子体增强化学气相沉积法;光伏=光伏

Last Update: 3. October 2011 10:29

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