Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

應用材料公司擴大 AKT支點 55KV PVD系統,包括先進的銅沉積處理

Published on October 27, 2009 at 8:57 PM

應用材料公司今天宣布,它已擴大其突破性的AKT支點™55KV的PVD *系統,包括先進的銅生產的TFT - LCD平板顯示器(FPD)的沉積處理。使用PIVOT系統,FPD製造商過渡,從鋁到銅公交線路,以實現更快的像素響應和更低的功耗在下一代液晶電視面板。 PIVOT系統提供基準,具有成本效益的銅沉積性能相結合,增強薄膜形態的高沉積速率,利用高效率的目標和長期維護間隔。

應用材料公司擴大其突破性的AKT支點 PVD系統的功能,包括先進的銅沉積處理。 (照片:美國商業資訊)

透視系統的卓越的薄膜質量的關鍵是其專有的旋轉陰極設計,採用獨特的沉積的調製技術,以存款統一的糧食流通,低電阻和高厚度均勻的銅層。透視系統還可以使大於 80%的目標提供顯著節省昂貴的目標材料的利用率。

“通過提供無與倫比的電影屬性和高效的原始材料的利用率,我們的AKT -樞軸系統答案今天的液晶電視市場,是帶動更大超高定義面板的需求和要求在沉積技術的創新,以提供高品質的關鍵需求低所有權成本的電影,說:“托馬克博士,高級副總裁兼總經理,應用材料公司的顯示,能源和環境解決方案組。 “證明該系統的生產力和專有的銅工藝技術創造一個強大的附加功能,我們的平板顯示解決方案的強大組合。”

透視系統的模塊化結構,使種類繁多的配置,以最大限度地提高生產效率,消除了在傳統的線機不同的模塊由不同的進程時間造成的瓶頸。透視系統的安排般的集群還允許在單個模塊維護連續運行。結合長的維修時間間隔和擴展目標的生活,透視系統提供業界最高的可用性和最長的連續生產​​時間。

AKT支點 55KV物理氣相沉積系統的卓越的銅沉積技術將展出10月28-30日在應用材料公司的展位在日本橫濱國際平面顯示器和2009年的綠色設備,應用先進的FPD製造解決方案組合的一部分。這些解決方案包括PECVD *的TFT陣列和彩色過濾器,電子束陣列測試技術,工廠自動化和服務,PVD。此外,應用材料公司將展示其環保設備製造技術,包括太陽能,LOW - E鍍膜玻璃和卷對卷靈活的光伏沉積和顯示。

應用材料公司(納斯達克股票代碼:AMAT)是全球領先的納米技術™解決方案的廣泛產品組合的創新設備,服務和軟件產品,用於製造半導體芯片,平板顯示器,太陽能光伏電池,柔性電子產品和能源

高效玻璃。在應用材料公司用納米製造技術改善人們的生活。了解在www.appliedmaterials.com。

* TFT - LCD的薄膜晶體管液晶液晶顯示器; PVD ​​=物理氣相沉積的PECVD等離子體增強化學氣相沉積法;光伏=光伏

Last Update: 10. October 2011 04:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit