STnano Køb Plasmalab System80 Plus ICP System fra Oxford Instruments Plasma Technology

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) har for nylig vundet en kontrakt med franske forskningscenter, STnano i Strasbourg, Frankrig om levering af en Plasmalab System80 Plus ICP-systemet.

Oxford Instruments Plasma Technology Plasmalab80 Plus ICP System

STnano er den nye Strasbourg nanofabrikation platform, etableret i fællesskab af IPCMS (a CNRS lab) og University of Strasbourg (UDS), og har ekspertise i design af nanostrukturer gennem topdown metoder, og studiet af deres magnetiske egenskaber.

Oxford Instruments 'Plasmalab System80Plus system er en fleksibel, kompakt og økonomisk løsning til plasma ætsning og udfældningsprocesser. STnano har købt induktivt koblet plasma (ICP) konfiguration, for at behandle flere materialer, herunder Silicon etch. OIPT er Plasmalab System80Plus findes også konfigureret til ætsning og deponering (ICP-PECVD), reaktiv ion ætsning (RIE), plasma ætsning (PE) eller plasma forbedret kemisk dampudfældning (PECVD).

Dr. Hicham Majjad, nanofabrikation Manager hos STnano, siger, at forskningscentret valgte en Oxford Instruments redskab, som det passede deres behov på forskningsområdet. "Som en førende franske forskningscenter vi krævede den højeste specifikation system, vi kunne finde på at passe specifikationerne for det arbejde, vi er i gang. Den Plasmalab80 Plus Open Load design giver mulighed for hurtig lastning og losning, ideel til fremstilling af prototyper og små produktionsmængder miljøer såsom vores. Systemet er købt som en del af STnano program til at udstyre vores renrum med state of the art instrumentering for nano-og mikroskala fabrikation inden for molekylær elektronik, spintronic, og polymerer. "

"Som verdens førende i at levere etch værktøjer til Nano samfund, kombineret med vores ekspertise i procesteknologi, OIPT var i stand til at tilbyde STnano præcis det system, de ledte efter," siger Mark Vosloo, Sales Director hos OIPT, "Vi er stolte af vores erfarne team af procesingeniører, i stand til at tilbyde processer og teknikker med henblik på at understøtte vores kunders høje krav. "

Last Update: 7. October 2011 06:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit