STnano Käufe Plasmalab System80 Plus-ICP-System von Oxford Instruments Plasmatechnik

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

Oxford Instruments Plasmatechnik (OIPT) hat kürzlich einen Vertrag mit Französisch Forschungszentrum STnano in Straßburg, Frankreich für die Versorgung eines Plasmalab System80 Plus-ICP-System gewonnen.

Oxford Instruments Plasmatechnik ist Plasmalab80 Plus-ICP-System

STnano ist die neue Strasbourg Nanofabrikation Plattform, die gemeinsam von IPCMS (a CNRS-Labor) und der Universität Strasbourg (UdS) gegründet und verfügt über Erfahrung in der Konstruktion von Nanostrukturen durch topdown Methoden und die Untersuchung ihrer magnetischen Eigenschaften.

Oxford Instruments 'Plasmalab System80Plus System ist eine flexible, kompakte und wirtschaftliche Lösung für Plasma-Ätzen und Abscheiden Prozesse. STnano hat die induktiv gekoppeltem Plasma (ICP)-Konfiguration erworben haben, um mehrere Materialien wie Silicon Etch-Prozess. OIPT ist Plasmalab System80Plus ist auch konfiguriert zum Ätzen und Abscheiden (ICP-PECVD), reaktives Ionen-Ätzen (RIE), Plasma-Ätzen (PE) oder Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD).

Dr. Hicham Majjad, Nanofabrication Manager bei STnano, sagt, dass Forschungszentrum in Oxford Instruments Werkzeug wählte, wie sie ihre Forschungs-Anforderungen angepasst. "Als ein führender Französisch Forschungszentrum wir forderten die höchste Spezifikation System, das wir finden, um die Vorgaben für die Arbeit, die wir unternehmen passen könnte. Die Plasmalab80 Plus-Open-Load-Design ermöglicht eine schnelle Be-und Entladen, ideal für Prototypen und Kleinserien-Umgebungen wie bei uns. Das System hat als Teil des STnano das Programm zu unserem Reinraum mit modernster Messtechnik für Nano-und Mikro-Maßstab Fertigung in den Bereichen molekulare Elektronik, Spintronik, und Polymeren auszustatten gekauft worden. "

"Als Weltmarktführer bei der Versorgung etch Werkzeuge, um die Nano-Community, mit unserem Know-how in der Prozesstechnik gekoppelt, OIPT anbieten zu können STnano genau das System, das sie suchten, war", kommentiert Mark Vosloo, Sales Director bei OIPT: "Wir sind stolz auf Unser erfahrenes Team von Verfahrenstechnikern, in der Lage, Prozesse und Techniken zu bieten, um unseren Kunden hohe Anforderungen zu unterstützen. "

Last Update: 7. October 2011 17:33

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