オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジーからSTnano購入Plasmalab System80プラスICPのシステム

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジー(OIPT)は最近Plasmalab System80プラスICPのシステムの供給のためにフランスのストラスブールで、STnanoをフランスの研究センターとの契約を獲得した。

オックスフォードインスツルメンツプラズマテクノロジーのPlasmalab80プラスICPのシステム

STnanoはIPCMS(CNRSの研究室)とストラスブール(UDS)の大学が共同で設立した新しいストラスブールの微細加工プラットフォーム、であり、そしてトップダウンの方法を通じて、ナノ構造の設計、およびそれらの磁気特性の研究に専門知識を持っています。

オックスフォードインスツルメンツPlasmalab System80Plusシステムは、プラズマエッチングやデポジションプロセスの柔軟性、コンパクトで経済的なソリューションです。 STnanoはエッチシリコンを含む複数の材料を処理するために、誘導結合プラズマ(ICP)コンフィギュレーションを購入しています。 OIPTのPlasmalab System80Plusは、エッチングとデポジション(ICP - PECVD)、反応性イオンエッチング(RIE)、プラズマエッチング(PE)またはプラズマ化学気相成長(PECVD)用に設定も可能です。

博士ヒシャムMajjad、STnanoでナノファブリケーションマネージャが、それは彼らの研究の必要条件に合ったとして研究の中心は、オックスフォードインスツルメンツのツールを選んだという。 "主要なフランスの研究センターとして、我々は我々が取り組んでいる作業のための仕様に合わせて見つけることができる最高仕様のシステムを要求した。Plasmalab80プラス負荷オープン設計では、このようなプロトタイプ作成や少量生産の環境に理想的、高速でロードおよびアンロードを可能にする我々の。システムは、分子エレクトロニクス、スピントロニクス、およびポリマーの分野でのナノおよびマイクロスケールの製造のための芸術の計装の状態で私達のクリーンルームを装備するSTnanoのプログラムの一環として購入されています。"

"ナノコミュニティにエッチなツールを供給する世界の指導者は、プロセス技術における当社の専門知識と相まってとして、OIPTはSTnano彼らが探していた正確にシステムを提供することができた、"コメントマークVosloo、OIPTのセールスディレクターは、"我々は、私達自身を自漫するお客様の厳しい要件をサポートするために、プロセスや技術を提供することができるプロセスエンジニア、当社の経験豊富なチーム。"

Last Update: 3. October 2011 23:30

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit