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STnano는 옥스포드 계기 플라스마 기술에서 ICP 시스템 플러스 Plasmalab System 80을 구매합니다

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

옥스포드 계기 플라스마 기술은 (OIPT) 최근에 프랑스 연구소, 스트라스부르그, ICP 시스템 플러스 Plasmalab System 80의 공급을 위한 프랑스에 있는 STnano를 가진 계약체결을 이겼습니다.

ICP 시스템 플러스 옥스포드 계기 플라스마 기술의 Plasmalab80

STnano에는 IPCMS (CNRS 실험실)와 스트라스부르그 (UdS)의 대학에 의해 공동으로 설치된 새로운 스트라스부르그 nanofabrication 플래트홈 이고, nanostructures의 디자인에 있는 포괄적인 방법을 통해 전문 기술, 그리고 그들의 자기적 성질의 연구 결과가 있습니다.

옥스포드 계기의 Plasmalab System80Plus 시스템은 플라스마 에칭과 공술서 프로세스를 위한 유연하고, 조밀한 경제적인 해결책입니다. STnano는 유도적으로 결합한 플라스마 실리콘 (ICP) 식각을 포함하여 다중 물자를 가공하기 위하여 윤곽을, 구매했습니다. 구성된 OIPT의 Plasmalab System80Plus는 식각을 위해 유효합니다 또한 및 공술서 (ICP-PECVD), 민감하는 이온 에칭, (RIE) 플라스마 에칭 또는 (PE) 플라스마에 의하여 강화된 화학 수증기 공술서 (PECVD).

Hicham Majjad, STnano에 Nanofabrication 매니저 박사는, 그들의 연구 요구조건에 맞는 때 연구소가 옥스포드 계기 공구를 선택했다고 말합니다. "주요한 프랑스 연구소가 우리 가장 높은 논고 시스템을 요구하기 때문에 우리는 우리에 의하여 착수하고 있는 일을 위한 논고를 적합하기 위하여 찾아낼 수 있었습니다. 단단 선적 및 내리기를 열리는 짐 디자인 플러스 Plasmalab80가, 우리 것과 같은 prototyping와 저용량 생산 환경에 대하 이상 허용합니다. 시스템은 STnano의 프로그램의 한 부분으로 분자 전자, spintronic, 및 중합체의 필드에 있는 nano와 마이크로 가늠자 제작을 위한 최신식 기계 사용을 우리의 청정실을 갖추고 있기 위하여 팔렸습니다."

"때문에 필수품을 요구해 우리의 고객을 지원하기 위하여 가공 기술에 있는 우리의 전문 기술에 결합되기 Nano 지역 사회에게 공급 식각 공구에 있는 세계 지도자가, OIPT STnano에게 찾고 있던 시스템을 정확하게 제안할기 수 있기," 판매국장 코멘트 표 Vosloo, OIPT에, "우리 자랑하기 프로세스와 기술을 제안할기 수 있습니다 가공 엔지니어의 우리의 경험있는 팀에."

Last Update: 13. January 2012 15:30

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