Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

STnano Inköp Plasmalab System80 Plus ICP System från Oxford Instruments Plasma Technology

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

Oxford Instruments Plasma Technology (OIPT) har nyligen vunnit ett kontrakt med franska forskningscenter, STnano i Strasbourg, Frankrike för leverans av en Plasmalab System80 Plus ICP-system.

Oxford Instruments Plasma Technology Plasmalab80 Plus ICP-systemet

STnano är den nya Strasbourg nanofabrikation plattformen fastställas gemensamt av IPCMS (ett CNRS lab) och universitetet i Strasbourg (UDS), och har expertis inom design av nanostrukturer genom TopDown metoder, och studiet av deras magnetiska egenskaper.

Oxford Instruments "Plasmalab System80Plus systemet är en flexibel, kompakt och ekonomisk lösning för plasma etsning och utfällningsprocesser. STnano har köpt induktivt kopplad plasma (ICP) konfiguration, för att bearbeta flera material, inklusive kisel etch. OIPT är Plasmalab System80Plus finns även konfigureras för etsning och deponering (ICP-PECVD), reaktiv jon etsning (RIE), plasma etsning (PE) eller plasma förbättrade kemiska förångningsreaktorer (PECVD).

Dr Hicham Majjad, Nanotekniklaboratoriet Manager på STnano, säger att forskningscentrum valde en Oxford Instruments verktyg eftersom det monteras sin forskning krav. "Som en ledande fransk forskningscentrum vi krävde den högsta specifikationen system vi kunde hitta för att passa specifikationerna för det arbete vi utför. Den Plasmalab80 Plus öppna belastning design tillåter snabb lastning och lossning, perfekt för prototyper och små volymer produktionsmiljöer som vår. Systemet har köpts som en del av STnano program för att utrusta våra renrum med toppmoderna instrument för nano-och mikro tillverkning inom molekylär elektronik, spinntroniska och polymerer. "

"Som världsledande på att leverera etch verktyg för att Nano samhället, tillsammans med vår kompetens inom processteknik, var OIPT kunna erbjuda STnano exakt det system som de letade efter", kommenterar Mark Vosloo, försäljningschef på OIPT, "Vi är stolta över vårt erfarna team av processingenjörer, kunna erbjuda processer och tekniker för att stödja våra kunder höga krav. "

Last Update: 3. October 2011 15:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit