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STnano 采购 Plasmalab 系统 80 加上从牛津仪器等离子技术的 ICP 系统

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

牛津仪器等离子技术 (OIPT)在史特拉斯堡, Plasmalab 系统 80 用品的法国最近获得了同法国研究中心, STnano 的合同加上 ICP 系统。

牛津仪器等离子技术的 Plasmalab80 加上 ICP 系统

STnano 是新的史特拉斯堡极小制作平台,共同地设立由 IPCMS (CNRS 实验室) 和大学史特拉斯堡 (UdS),并且有专门技术在 nanostructures 设计通过自顶向下方法和他们的磁性的研究。

牛津仪器的 Plasmalab System80Plus 系统是等离子蚀刻和证言进程的一个灵活,紧凑和经济解决方法。 STnano 采购引人地耦合的等离子 (ICP)配置,处理多个材料包括硅铭刻。 System80Plus 铭刻的也是可用的配置的 OIPT 的 Plasmalab 和证言 (ICP-PECVD),易反应的离子蚀刻 (RIE)、等离子蚀刻 (PE)或者等离子改进的化学气相沉积 (PECVD)。

Hicham Majjad, STnano 的极小制作经理博士,说研究中心选择了牛津仪器工具,当它适合了他们的研究需求。 “因为一个主导的法国研究中心我们需求了最高的说明系统我们可能查找适合我们执行的工作的说明。 Plasmalab80 加上开放负荷设计允许快速装载和转存,理想对原型和低容积生产环境例如我们的。 这个系统被采购作为 STnano 的程序一部分用纳诺和微缩放比例制造的科技目前进步水平手段装备我们的清洁的房间在分子电子, spintronic 和聚合物的域”。

“因为他们寻找在供应的铭刻工具的世界领导人对这个纳诺社区,加上我们的专门技术在加工技术, OIPT 能精密地提供 STnano 系统”,备注标记 Vosloo, OIPT 的经销总理, “我们自傲在工艺工程师我们有经验的小组,能提供进程和技术为了支持我们的苛求需求的客户”。

Last Update: 13. January 2012 07:36

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