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STnano採購 Plasmalab System80加ICP系統從牛津儀器等離子技術

Published on November 18, 2009 at 6:24 PM

牛津儀器等離子技術(OIPT)最近獲得了在法國的斯特拉斯堡,與法國科研中心,STnano的一個Plasmalab System80加上ICP系統供應合同。

牛津儀器等離子技術的Plasmalab80加ICP系統

STnano是IPCMS(國家科學研究中心實驗室)和斯特拉斯堡(UDS)大學聯合成立的新的斯特拉斯堡納米加工平台,並通過自上而下的方法設計納米結構和磁學性質的研究專長。

牛津儀器的Plasmalab System80Plus系統是一個靈活,緊湊和經濟的等離子蝕刻和沉積過程的解決方案。 STnano已經購買了電感耦合等離子體(ICP)的配置,來處理多種材料,包括矽蝕刻。 OIPT的Plasmalab System80Plus也可配置為蝕刻和沉積法(ICP - PECVD),反應離子蝕刻(RIE),等離子體刻蝕(PE)或等離子體增強化學氣相澱積(PECVD)。

Hicham Majjad,納米加工STnano經理,博士說,研究中心選擇了牛津儀器的工具,因為它裝有他們的研究需求。 “作為一家領先的法國科研中心,我們所要求的最高規格的系統,我們可以找到適合的工作,我們正在開展的規範。Plasmalab80加上開放的負載設計,可快速裝卸,進行原型設計和小批量的生產環境,如的理想選擇我們,該系統已經買了STnano的計劃,我們的潔淨室裝備與納米和分子的電子自旋和聚合物領域的微觀尺度製造藝術儀器的狀態的一部分。“

“世界各國領導人在納米社會提供蝕刻工具,再加上我們在工藝技術方面的專業知識,OIPT系統正是他們正在尋找能夠提供STnano,”意見,在OIPT的銷售總監馬克 Vosloo,“我們非常自豪,我們對我們的經驗豐富的團隊工藝工程師,能夠提供工藝和技術,以支持我們客戶的嚴格要求。“

Last Update: 3. October 2011 15:15

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