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Heidelberg Instruments reçoit une commande de Cornell Nanoscale Science and Technology Facility

Published on November 26, 2009 at 5:05 AM

Heidelberg Instruments a annoncé la vente d'une pointe DWL 2000 système de laser de lithographie sans masque à l'Cornell Nanoscale Science and Technology Facility, située à Ithaca, New York.

Le DWL 2000 système permettra à l'utilisateur d'exposer les structures submicroniques sur résine, avec une zone active de rédiger jusqu'à 200 mm par 200 mm.

"CNF a une longue histoire de fournir en interne la fabrication de masques capacité aux utilisateurs d'installations à un coût abordable. Ce délai permet à cycle rapide du concept au prototype. CNF a récemment installé un moderne DUV (248nm) stepper qui nécessite 0,7 um fonctionnalités au niveau du masque. Les outils actuels de production de masques rendent trop lent pour répondre à cette nouvelle exigence, en créant un obstacle économique à l'utilisation du système DUV. Le nouveau système à partir de 2000 DWL Heidelberg Instruments combine la vitesse grand terrain avec la numérisation haute optique haute résolution et une précision qui récupère la phase de structure à faible coût pour la fabrication de masques en interne. »Dit Don Tennant, directeur des opérations à la Cornell Nanoscale Science and Technology Facilité

A propos de Cornell Nanoscale Science and Technology Facility: Le Cornell Nanoscale Science & Technology Facility (CNF) est une installation nationale qui supporte un large éventail de la nanoscience et des projets de technologie en fournissant l'état de l'art des ressources associées à un soutien personnel expert. 2007 a marqué ses 30 ans en opération. Recherche au CNF englobe les sciences physiques, l'ingénierie et sciences de la vie, et a une forte inter-disciplinaire accent. Plus de 700 utilisateurs par an (50% d'entre eux viennent de l'extérieur de Cornell) utilisent la fabrication, de synthèse, de calcul, de caractérisation et de ressources d'intégration du CNF de construire des structures, dispositifs et systèmes à partir atomiques complexes longueur des échelles.

A propos de Heidelberg Instruments, GmbH: Avec une base d'installation dans 30 pays, Heidelberg Instruments est un leader mondial dans la production de systèmes de haute précision de lithographie sans masque. Ces systèmes sont utilisés pour l'écriture directe et la production de photomasques par certaines des universités les plus prestigieuses et les leaders de l'industrie dans les domaines des MEMS, BioMEMS, nano technologie, ASICS, TFT, écrans plasma, Micro Optics, et de nombreuses autres applications connexes.

Last Update: 9. October 2011 18:02

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