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ハイデルベルクインスツルメンツは、コーネルナノスケール科学技術施設から受注

Published on November 26, 2009 at 5:05 AM

ハイデルベルクインスツルメンツは、イサカ、ニューヨーク州にあるコーネルナノスケール科学技術施設への高度な設計水位2000マスクレスレーザー露光システムの販売を、発表しました。

DWL 2000システムは、ユーザが200mmから最大200 mmのアクティブな書き込みエリアで、フォトレジスト上にサブミクロンの構造を公開することが可能になります。

"CNFは、手頃なコストで施設のユーザーに機能を作る社内のマスクを提供してきた長い歴史があります。これは、コンセプトからプロトタイプへの迅速なサイクルタイムを可能にします。 CNFは、最近のマスクでは0.7μmの機能を必要とする現代のDUV(248nm)ステッパーがインストールされています。現在のツールは、DUVのシステムを使用する経済的障壁を作成し、この新しい要件を満たすために、マスクの生産が非常に遅いレンダリング。ハイデルベルグインスツルメンツの新しいDWL 2000システムは、社内のマスク製造のための低コスト構造を回復する高解像度の光学系やステージ精度でフィールドをスキャンして大規模なハイスピー​​ドを兼ね備えています。"ドンテナント、コーネルナノスケール科学技術におけるオペレーションディレクターを明記機能

コー​​ネルナノスケール科学技術施設について:コーネルナノスケール科学技術施設(CNF)は、専門スタッフのサポートと相まって、最先端の資源を提供することにより、ナノスケール科学技術のプロジェクトを幅広くサポートしている国家ユーザー施設です。 2007は、操作で30周年を迎えました。 CNFでの研究は物理学、工学、生命科学を包含し、そして強力な学際的な重きを持っています。年間700ユーザー(50%そのうちはコーネル外から来る)、複雑な長さスケールの原子から加工、合成、計算、特性評価、および構造を構築するCNFの統合リソース、デバイス、およびシステムを使用する。オーバー

ハイデルベルグインスツルメンツ、社について:30カ国以上でインストールベースで、ハイデルベルクインスツルメンツは、高精度のマスクレスリソグラフィシステムの生産の世界的リーダーです。これらのシステムは、MEMS、バイオMEMS、ナノテクノロジー、アシックス、TFT、プラズマディスプレイ、マイクロオプティクス、および他の多くの関連アプリケーションの分野で最も権威のある大学と産業界のリーダーたちによる直接書き込みやフォトマスクの製造に使用されます。

Last Update: 13. October 2011 00:29

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