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Os Instrumentos de Heidelberg Recebem o Pedido da Ciência de Cornell NanoScale e da Facilidade da Tecnologia

Published on November 26, 2009 at 5:05 AM

Os Instrumentos de Heidelberg anunciaram a venda de um sistema maskless da litografia do laser de DWL 2000 avançado à Facilidade da Ciência e da Tecnologia de Cornell NanoScale, situada em Ithaca, New York.

O sistema 2000 de DWL permitirá o usuário de expr estruturas secundárias do mícron no fotoresistente, com um active escreve a área de até 200 milímetros por 200 milímetros.

“CNF tem uma longa história de fornecer a máscara da em-casa que faz a capacidade aos usuários da facilidade a custo disponível. Isto reserva o tempo de ciclo rápido do conceito ao protótipo. CNF tem instalado recentemente um DUV moderno (248nm) deslizante que exigisse 0,7 características do µm na máscara. As ferramentas actuais tornam a produção da máscara demasiado lenta para cumprir esta exigência nova, criando uma barreira econômica a usar o sistema de DUV. O sistema 2000 novo de DWL dos Instrumentos de Heidelberg combina o grande campo de alta velocidade da exploração com o sistema ótico e a precisão de alta resolução da fase que recupera a estrutura de baixo custo para a fabricação da máscara da em-casa.” estados Don Tennant, Director das Operações na Ciência de Cornell NanoScale e na Facilidade da Tecnologia

Sobre a Ciência de Cornell NanoScale e a Facilidade da Tecnologia: A Facilidade da Ciência & da Tecnologia de Cornell NanoScale (CNF) é uma facilidade nacional do usuário que apoie uma escala larga de projectos da ciência e da tecnologia do nanoscale fornecendo os recursos avançados acoplados o apoio do pessoal perito. 2007 marcaram seu 30o ano na operação. A Pesquisa em CNF abrange ciências físicas, engenharia, e ciências da vida, e tem uma ênfase inter-disciplinar forte. Sobre 700 usuários pelo uso do ano (50% de quem vêm de Cornell exterior) a fabricação, a síntese, a computação, a caracterização, e os recursos da integração de CNF construir estruturas, dispositivos, e sistemas de atômico às comprimento-escalas complexas.

Sobre os Instrumentos de Heidelberg, GmbH: Com uma base da instalação dentro sobre 30 países, os Instrumentos de Heidelberg são um líder mundial na produção de sistemas maskless da litografia da elevada precisão. Estes sistemas são usados para a produção da escrita directa e do photomask por alguns das universidades e dos líderes do sector os mais prestigiosos nas áreas de MEMS, de BioMEMS, da Tecnologia Nano, do ASICS, do TFT, dos Indicadores de Plasma, de Micro Sistemas Óticos, e de muitas outras aplicações relacionadas.

Last Update: 13. January 2012 10:06

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