海得爾堡儀器從康奈爾 NanoScale 科學技術設備收到訂單

Published on November 26, 2009 at 5:05 AM

海得爾堡儀器宣佈了先進 DWL 2000 maskless 激光石版印刷系統的銷售額對康奈爾 NanoScale 科學技術設備,位於 Ithaca,紐約。

DWL 2000年系統將使這個用戶顯示在光致抗蝕劑的子微米結構,與激活由 200 mm 寫面積的 200 mm。

「CNF 有提供做功能的機構內部的屏蔽的一個悠久的歷史給設備用戶在價格合理的費用。 這允許迅速循環時間從概念到還原。 CNF 最近安裝了要求 0.7 µm 功能在屏蔽步進的現代的 DUV (248nm)。 流通工具使屏蔽生產太慢以至於不能符合此新的要求,創建經濟障礙對使用 DUV 系統。 從海得爾堡儀器的新的 DWL 2000年系統與收回機構內部的屏蔽製造的低成本結構的高分辨率光學和階段精確度結合大高速掃描域」。 狀態唐 Tennant,運算的主任在康奈爾 NanoScale 科學技術設備的

關於康奈爾 NanoScale 科學技術設備: 康奈爾 NanoScale 科學 & 技術設備 (CNF) 是通過提供耦合的科技目前進步水平資源支持各種各樣的 nanoscale 科學技術項目以專家技術支持的國家用戶設備。 2007 指示了運轉中其第 30 的年。 在 CNF 的研究包含物理學、工程和生命科學,并且有一個嚴格的學科重點。 每年 (50% 誰來自外部康奈爾) 使用 700 個用戶 CNF 製造、綜合、計算、描述特性和綜合化資源建立結構、設備和系統從基本到複雜長度縮放比例。

關於海得爾堡儀器, Gmbh : 安裝基礎完全成功 30 個國家(地區),海得爾堡儀器是在高精度 maskless 石版印刷系統的生產的一個世界領導人。 這些系統為直接業務和光掩膜生產使用由某些最有名望的大學和行業領袖在應用領域 MEMS、 BioMEMS、納諾技術、 ASICS、 TFT、等離子體顯示器、微光學和許多其他相關。

Last Update: 25. January 2012 08:22

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