놀라우 반도체에 있는 통제 방출을 위한 기업의 첫번째 감소 그리고 진공 양수 해결책

Published on November 30, 2009 at 6:13 PM

Applied Materials, Inc. 의 혁신적인 장비의 넓은 포트홀리로를 가진 Nanomanufacturing Technology™ 해결책에 있는 글로벌 지도자는, 반도체 칩의 제작을 위한 서비스와 소프트웨어 생산품, 편평한 패널 디스플레이, 태양 광전지, 유연한 전자공학 및 에너지 효과 유리, 오늘 놀라웠던 반도체에 있는 통제 방출을 위한 그것의 적용되는 iSYS™ 플래트홈, 기업의 첫번째 가득 차있 통합 감소 및 진공 양수 해결책을 밝혔습니다.

적용되는 가공 공구에 네트 워크, iSYS 시스템은 현재 가능한 윤곽과 비교된 이산화탄소 방출의 에너지 220,000 파운드의 200MWh와 동등한 힘, 근해 및 가스 소비에 있는 전형적인 연례 savings를 전달할 수 있습니다. 환경 이득이 있는 이외에, iSYS 시스템은 감소를 위한 부대 설비비 및 가공 공구에에 의하여 양수하는 진공을 20% 낮춥니다.

적용되는 iSYS 플래트홈은 놀라우 반도체에 있는 통제 방출을 위한 기업의 첫번째 가득 차있 통합 감소와 진공 양수 해결책입니다. (사진: 사업 철사)

자원을 보전하는 iSYS 플래트홈의 기능에 키는 공구를 가공하고, 각 가공 약실에 있는 실시간 변경을 느끼고 미리 정의한 대기 국가로 하위 시스템을 지시하는 웨이퍼와 동기화되는 그것의 유일한 통제 시스템입니다. 공용품 미터로 재는 센서 및 소프트웨어는 각 iSYS 플래트홈으로 누적된 에너지 절약의 원격 감시를 가능하게 하고 에너지 지속 가능성 표적 도달에 있는 진도를 추적하기 위하여 건축됩니다.

"적용된 iSYS 플래트홈으로 그것의 필적할 수 없은 장비 자동화를 이용하고 있습니다 그리고 반도체 제조에 있는 감소하는 낭비를 위한 지능적인 해결책을 만드는 프로세스 공구 기술," 찰리 Pappis, 부사장과 적용되는 전역 서비스의 총관리인을 말했습니다. "변경 공구 상태에 응하여 자원 소비를 조절해서, ISYS 플래트홈은 우리의 고객을 그들의 경영비 낮게 돕고 유지할 수 있는 제조 기능을 지원할 수 있습니다."

높 조밀한 적용되는 iSYS 부대는 1 이하 일에 설치될 수 있고 40%를 비통합 시스템 보다는 더 적은 건평 소모합니다. 서비스의 최대 용이함을 위해 최초에 디자인해, iSYS 디자인은 정비 작업능률을 낙관하고 있는 동안 중요한 분대를 결합하고 매우 외부 연결의 수를 감소시키기 위하여 중복을 삭제합니다. 더 무거운 그들의 위 더 가벼운 분대를 겹쳐 쌓이고 덕트 여정을 낙관해서, 기술공은 특별한 장비 없이 빨리 모든 서비스 업무를, 펌프 보충을 포함하여, 완료할 수 있습니다.

iSYS 플래트홈에 의해 달성된 상당한 에너지 절약은 S23 방법론을 사용하여 Producer® 적용되는 GT™ PECVD* 시스템에 적용되는 향상된 Maydan 기술 센터에 반 측정되었습니다. 적용되는 물자의 CVD 시스템을 위해 초기에 발사해, 유연한 iSYS 아키텍쳐는 또한 식각 응용을 지원할 수 있습니다.

* PECVD = 플라스마는 CVD를 강화했습니다

Last Update: 3. June 2015 11:58

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