Bransch Dammsuger Första Minskning och att Pumpa Lösningen för att Kontrollera Utsläpp i den Fab Halvledaren

Published on November 30, 2009 at 6:13 PM

Applicerade Material, Inc., den globala ledare i Nanomanufacturing Technology™ lösningar med en bred portfölj av innovativ utrustning, servar, och programvaruprodukter för fabriceringen av halvledaren gå i flisor, sänker panelskärmar, sol- photovoltaic celler, böjlig elektronik och effektivt exponeringsglas för energi, i dag avtäckte dess Applicerade iSYS™plattform, bransch första fullständigt-integrerade minskning och dammsuger att pumpa lösningen för att kontrollera utsläpp i den fab halvledaren.

Knutit Kontakt med ett Applicerat processaa bearbeta, iSYSsystemet kan leverera typiska årliga besparingar driver, bevattnar och gasar in förbrukningsmotsvarigheten till 200MWh av energi, eller 220.000 dunkar av CO2utsläpp, jämfört till för närvarande tillgängliga konfigurationer. Förutom att ha gynnar miljö-, fäller ned iSYSsystemet det nytto- kostar för minskning och dammsuger att pumpa på ett processaa bearbetar vid mer än 20%.

Den Applicerade iSYSplattformen är bransch första fullständigt-integrerade minskning och dammsuger att pumpa lösningen för att kontrollera utsläpp i den fab halvledaren. (Foto: Affären Binder),

Stämma till iSYSplattform kapacitet till fruktkonservresurser är dess unikt kontrollerar systemet som synkroniseras med bearbeta för rån bearbetar och att avkänna realtidsändringar i varje bearbeta kammaren, och rikta undersystem in i fördefinerad reserv påstår. Nytto- mäta avkännare och programvara byggs in i varje iSYSplattform för att möjliggöra avlägsen övervakning av växande energi - besparingar och att spåra framsteg i neende energisustainability uppsätta som mål.

”Med iSYSplattformen Applied kapitaliserar på dess unmatched utrustningautomation, och processaa bearbeta teknologi för att skapa en smart lösning för förlorad minskning i den fabriks- halvledaren,”, sade att Charlie den Globala Pappis, vicepresidentet och allmänna chefen av Applied Servar. ”, Genom att modulera resursförbrukning som svar på att ändra, bearbeta villkorar, kan iSYSplattformen hjälpa våra kunder, lower som deras fungerings kostar, och övar hållbart fabriks- för service.”,

Hög-överenskommelsen Applicerade iSYSenheten kan installeras i mer mindre än en dag och konsumerar 40% mindre lägenhetsyta än non-integrerade system. Planlagt från början för maximum lindra av att serva, konsoliderar iSYSdesignen ha som huvudämne delar och avlägsnar överflöd väldeliga för att förminska numrera av ergonomi för underhåll för yttre anslutningsstunder optimerande. Genom att stapla mer ljus delar ovanför tyngre och att optimera kanalsändning, kan tekniker snabbt avsluta alla tjänste- uppgifter, pumpar däribland utbytet, utan special utrustning.

Den verkliga energin - besparingen som uppnåddes av iSYSplattformen, mättes på Applieds avancerad Maydan Teknologi Centrerar på ett Applicerat Producer® GT™ PECVD* system genom att använda HALV methodology S23. Initialt lanserat för Applied Materials system för CVD, kan den böjliga iSYSarkitekturen också stötta etsar applikationer.

* PECVD = plasma förhöjde CVD

Last Update: 3. June 2015 12:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit