Η αύξηση της ΔΕΑ τεχνολογία σε ένα νέο επίπεδο

Published on November 30, 2009 at 6:19 PM

Applied Materials, Inc , ο παγκόσμιος ηγέτης στην τεχνολογία ™ λύσεις νανοπαραγωγή με μια ευρεία γκάμα καινοτόμων προϊόντων εξοπλισμού, υπηρεσιών και λογισμικού για την κατασκευή των τσιπ ημιαγωγών, επίπεδων οθονών, ηλιακά φωτοβολταϊκά κύτταρα, ευέλικτο ηλεκτρονικά και ενεργειακώς αποδοτικών γυαλί, σήμερα τέθηκαν * ΔΕΑ τεχνολογία σε ένα νέο επίπεδο, μειώνοντας ταυτόχρονα το κόστος του συστήματος της ιδιοκτησίας (COO) με την έναρξη της Εφαρμοσμένης Reflexion της ® GT συστήματος για προηγμένες εφαρμογές μετάλλου ΔΕΑ. Μυθιστόρημα του συστήματος, διπλή-wafer σχεδιασμός θέτει νέα σημεία αναφοράς στην απόδοση ΔΕΑ και την παραγωγικότητα, παρέχοντας κορυφαία έλεγχο προφίλ και το 60% υψηλότερη απόδοση από τα ανταγωνιστικά συστήματα. Η Reflexion GT περικοπές επίσης δραματικά το κόστος των αναλωσίμων, που απαιτούν έως και 30% λιγότερο κοπριάς και επεξεργασία διπλάσιες γκοφρέτες ανά στίλβωση pad.

Κλειδί για την Reflexion GT σύστημα είναι διπλή αρχιτεκτονική λειτουργία της, που επιτρέπει δύο γκοφρέτες να προωθούνται ταυτόχρονα σε κάθε πλάκα με ανεξάρτητα ελεγχόμενες Τιτάν κεφάλια στίλβωση Contour. (Φωτογραφία: Business Wire)

"Χαλκοφόρες λογική σημερινή και συσκευές μνήμης έχουν περισσότερα στρώματα διασύνδεσης χαλκού, που απαιτούν ταχύτερη επεξεργασία ΔΕΑ και πιο αποτελεσματική χρήση των αναλώσιμων", δήλωσε ο Lakshmanan Karuppiah, γενικός διευθυντής της ΔΕΑ επιχειρηματική μονάδα Εφαρμοσμένης. "Όπως και άκρως επιτυχημένη-Παραγωγός Εφαρμοσμένης ® GT ™ CVD * πλατφόρμα, η Reflexion GT σύστημα είναι ένα άλλο μηχάνημα όνειρο για τους πελάτες - που συνδυάζει καινοτομίες στην τεχνολογία CMP με dual-γκοφρέτα επεξεργασία για την επίτευξη best-of-breed απόδοσης. Εκτός από την υψηλή απόδοση ταχύτητά του, η νέα αυτή αρχιτεκτονική επιτρέπει στους πελάτες να πραγματοποιήσει σημαντική εξοικονόμηση στο κόστος των αναλωσίμων, η οποία περιλαμβάνει συνήθως το 70% του συνολικού κόστους ανά wafer. "

Το κλειδί για την απόδοση του δείκτη αναφοράς Reflexion GT σύστημα είναι διπλή αρχιτεκτονική λειτουργία της, που επιτρέπει δύο γκοφρέτες να προωθούνται ταυτόχρονα σε κάθε πλάκα με ανεξάρτητα ελεγχόμενες Τιτάν Contour ™ κεφάλια στίλβωση. Μετά το γυάλισμα είναι πλήρης, μια παράλληλη πορεία-, καθαρή λειτουργική μονάδα που διαθέτει αποδεδειγμένη Marangoni Εφαρμοσμένης ™ της ξήρανσης ατμών παραδίδει ιδιαίτερα αποδοτικό, το νερό σήμα χωρίς καθαρισμού πλακιδίων. Ιδιόκτητο, του συστήματος σε πραγματικό χρόνο το προφίλ και οι τεχνολογίες ελέγχου τελικό σημείο παρέχουν κορυφαία και wafer-to-πλακιδίων ομοιομορφία.

Η Reflexion GT σύστημα είναι διαθέσιμο τώρα για planarization διασύνδεσης χαλκού και έχει αποδείξει την επεκτασιμότητα εφαρμογών βολφραμίου. Το καινοτόμο αυτό σύστημα αυξάνει την δεκαετία Εφαρμοσμένης της ηγεσίας στη ΔΕΑ τεχνολογία, με περισσότερα από 2.700 συστήματα σε πελάτες παγκοσμίως. Για περισσότερες πληροφορίες, επισκεφθείτε http://www.appliedmaterials.com/products/reflexion_gt_cmp_4.html .

* ΔΕΑ = χημική μηχανική planarization? CVD = χημική εναπόθεση ατμών

Last Update: 12. October 2011 20:45

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit