Het Opheffen van Technologie CMP op een Nieuw Niveau

Published on November 30, 2009 at 6:19 PM

De Toegepaste Materialen, Inc., de globale leider in de oplossingen van Nanomanufacturing Technology™ met een brede portefeuille van innovatieve apparatuur, de dienst en softwareproducten voor de vervaardiging van halfgeleiderspaanders, vlak paneelvertoningen, zonne photovoltaic cellen, flexibele elektronika en energie efficiënt glas, hieven vandaag technologie CMP* op een nieuw niveau op terwijl het verminderen van systeemkosten van eigendom (CoO) met de lancering van zijn Toegepast systeem van Reflexion® GT voor geavanceerde metaalCMP toepassingen. De roman van het systeem, dubbel-wafeltjeontwerp plaatst nieuwe benchmarks in prestaties CMP en productiviteit, leverend superieure profielcontrole en 60% hogere productie dan concurrerende systemen. De Bezinning GT ook snijdt dramatisch verbruiksgoederenkosten die, die tot 30% vereisen minder dunne modder en tweemaal zo vele wafeltjes per oppoetsend stootkussen verwerken.

De Sleutel tot het systeem van GT van de Bezinning is zijn dubbele wijzearchitectuur, die dat twee wafeltjes toelaten worden verwerkt gelijktijdig op elke drukcilinder die de onafhankelijk-gecontroleerde oppoetsende hoofden van de Contour van de Titaan gebruiken. (Foto: Business Wire)

„De op koper-gebaseerde logica en geheugenapparaten Van Vandaag hebben meer koper lagen onderling verbinden, die snellere verwerking CMP en efficiënter gebruik van verbruiksgoederen vereisen,“ bovengenoemde Lakshmanan Karuppiah, algemene manager van Toegepaste CMP bedrijfseenheid. „Als het Toegepaste hoogst-succesvolle platform CVD* van Producer® GT™, is het systeem van GT van de Bezinning een andere droommachine voor klanten - combinerend innovaties in technologie CMP met dubbel-wafeltjeverwerking om best-van-rassenprestaties te bereiken. Naast zijn hoge snelheidsproductie, staat deze nieuwe architectuur klanten toe om wezenlijke besparingen in de kosten van verbruiksgoederen te realiseren, die typisch uit 70% van de totale kosten per wafeltje.“ bestaan

De Sleutel tot de de benchmarkprestaties van het systeem van GT van de Bezinning is zijn dubbele wijzearchitectuur, die dat twee wafeltjes toelaten worden verwerkt gelijktijdig op elke drukcilinder die de onafhankelijk-gecontroleerde oppoetsende hoofden van Contour™ van de Titaan gebruiken. Nadat oppoetsen volledig is, levert een parallel-weg, schone module die het Toegepaste bewezen damp Marangoni™ drogen kenmerken hoogst-efficiënt, water hetvrije wafeltje schoonmaken. De het merkgebonden, in real time profiel van het systeem en technologieën van de eindpuntcontrole verstrekken industrie-leidt, wafeltje-aan-wafeltje uniformiteit.

Het systeem van GT van de Bezinning is beschikbaar nu want het koper planarization onderling verbindt en extendibility aan wolframtoepassingen aangetoond. Dit innovatieve systeem voegt aan Toegepast decennium van leiding in technologie CMP, wereldwijd met meer dan 2.700 systemen toe bij klantenplaatsen. Voor meer informatie, bezoek http://www.appliedmaterials.com/products/reflexion_gt_cmp_4.html.

*CMP = chemische mechanische planarization; CVD = chemische dampdeposito

Last Update: 13. January 2012 12:35

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit