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Levantando a Tecnologia do CMP para Um Nível Novo

Published on November 30, 2009 at 6:19 PM

Aplicado Materiais, Inc., líder global em soluções de Nanomanufacturing Technology™ com uma carteira larga de produtos inovativos do equipamento, do serviço e de software para a fabricação das microplaquetas do semicondutor, dos ecrãs planos, das pilhas fotovoltaicos solares, da eletrônica flexível e do vidro eficiente da energia, tecnologia hoje levantada de CMP* a um nível novo ao abaixar o custo de sistema da posse (CoO) com o lançamento de seu sistema Aplicado de Reflexion® GT para aplicações avançadas do CMP do metal. A novela do sistema, projecto da duplo-bolacha ajusta marcas de nível novas no desempenho e na produtividade do CMP, entregando o controle de perfil superior e uma produção mais alta de 60% do que sistemas de competência. A Reflexão GT igualmente corta dramàtica o custo dos materiais de consumo, exigindo até 30% menos pasta e processando duas vezes tantas como bolachas pela almofada de lustro.

A Chave ao sistema da GT da Reflexão é sua arquitetura dupla do modo, permitindo duas bolachas de ser processado simultaneamente em cada moldura do vidro de originais usando as cabeças de lustro do Contorno independente-controlado do Titã. (Foto: Business Wire)

“Os dispositivos cobre-baseados De Hoje da lógica e de memória têm mais camadas de cobre da interconexão, exigindo o processamento mais rápido do CMP e o uso mais eficiente dos materiais de consumo,” disse Lakshmanan Karuppiah, director geral de unidade de negócios Aplicada do CMP. “Como plataforma alto-bem sucedida Aplicada de Producer® GT™ CVD*, o sistema da GT da Reflexão é uma outra máquina ideal para clientes - combinar inovações na tecnologia do CMP com a duplo-bolacha que processa para conseguir o desempenho da melhor--raça. Além do que sua produção de alta velocidade, esta arquitetura nova permite que os clientes realizem economias substanciais no custo dos materiais de consumo, que compreende tipicamente 70% do custo total pela bolacha.”

A Chave ao desempenho da marca de nível do sistema da GT da Reflexão é sua arquitetura dupla do modo, permitindo duas bolachas de ser processado simultaneamente em cada moldura do vidro de originais usando as cabeças de lustro de Contour™ do Titã independente-controlado. Após o lustro está completo, um paralelo-trajecto, o módulo limpo que caracteriza a secagem provada Aplicada do vapor de Marangoni™ entrega alto-eficaz, limpeza Mark-livre da bolacha da água. O proprietário do sistema, o perfil do tempo real e as tecnologias do controle de valor-limite fornecem líder de mercado, uniformidade da bolacha-à-bolacha.

O sistema da GT da Reflexão está disponível agora para o planarization de cobre da interconexão e demonstrou o extendibility às aplicações do tungstênio. Este sistema inovativo adiciona a década Aplicada da liderança na tecnologia do CMP, com mais de 2.700 sistemas em locais de cliente no mundo inteiro. Para mais informação, visita http://www.appliedmaterials.com/products/reflexion_gt_cmp_4.html.

*CMP = planarization mecânico químico; CVD = depósito de vapor químico

Last Update: 13. January 2012 09:20

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